SEMを用いた圧電アクチュエータの動的微小変位測定法に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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SEMを用いた圧電アクチュエータの動的微小変位測定法に関する研究
- Author
-
石川, 博幸, 1964-
- Author(Another name)
-
イシカワ, ヒロユキ
- University
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名古屋大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第2635号
- Degree year
-
1992-03-25
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0004.jp2)
- 1 序論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 緒言 / p1 (0005.jp2)
- 1.2 本研究の目的 / p8 (0009.jp2)
- 1.3 本論文の構成 / p9 (0009.jp2)
- 2 SEMを用いた超音波モータの観察 / p11 (0010.jp2)
- 2.1 緒言 / p11 (0010.jp2)
- 2.2 振幅分布の測定 / p12 (0011.jp2)
- 2.3 振動周波数の測定 / p16 (0013.jp2)
- 2.4 結言 / p18 (0014.jp2)
- 3 電圧が印加された試料の微小変位測定 / p23 (0016.jp2)
- 3.1 緒言 / p23 (0016.jp2)
- 3.2 電界による電子ビームの偏向 / p25 (0017.jp2)
- 3.3 横変位の測定 / p27 (0018.jp2)
- 3.4 縦変位の測定 / p38 (0024.jp2)
- 3.5 横変位の誤差の検討 / p48 (0029.jp2)
- 3.6 結言 / p49 (0029.jp2)
- 4 動的微小変位の測定 / p51 (0030.jp2)
- 4.1 緒言 / p51 (0030.jp2)
- 4.2 SEMによる周期的現象の観察法 / p52 (0031.jp2)
- 4.3 積層型圧電アクチュエータの動的横変位の測定 / p66 (0038.jp2)
- 4.4 積層型圧電アクチュエータの動的縦変位の測定 / p72 (0041.jp2)
- 4.5 測定誤差の要因 / p77 (0043.jp2)
- 4.6 試料の固定法の改良 / p86 (0048.jp2)
- 4.7 結言 / p93 (0051.jp2)
- 5 結論 / p95 (0052.jp2)
- 5.1 本研究の成果 / p95 (0052.jp2)
- 5.2 今後の課題 / p97 (0053.jp2)