高周波熱プラズマを用いたダイヤモンド合成の研究
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Bibliographic Information
- Title
-
高周波熱プラズマを用いたダイヤモンド合成の研究
- Author
-
小林, 豊彦
- Author(Another name)
-
コバヤシ, トヨヒコ
- University
-
明治大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第172号
- Degree year
-
1992-03-25
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / c-3 / (0006.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0010.jp2)
- 1-1 はじめに / p1 (0010.jp2)
- 1-2 ダイヤモンドの気相合成 / p5 (0014.jp2)
- 1-3 まとめ / p22 (0031.jp2)
- 参考文献 / p25 (0034.jp2)
- 第2章 高周波熱プラズマCVDシステム / p29 (0038.jp2)
- 2-1 はじめに / p29 (0038.jp2)
- 2-2 プラズマの概念 / p30 (0039.jp2)
- 2-3 高周波熱プラズマCVD装置 / p35 (0044.jp2)
- 2-4 ガス導入方法 / p58 (0067.jp2)
- 2-5 まとめ / p62 (0071.jp2)
- 参考文献 / p63 (0072.jp2)
- 第3章 ダイヤモンドの析出形態と均質膜析出条件の検討 / p65 (0074.jp2)
- 3-1 はじめに / p65 (0074.jp2)
- 3-2 実験 / p66 (0075.jp2)
- 3-3 結果及び考察 / p68 (0077.jp2)
- 3-4 まとめ / p95 (0104.jp2)
- 参考文献 / p96 (0105.jp2)
- 第4章 ダイヤモンドの高速合成 / p98 (0107.jp2)
- 4-1 はじめに / p98 (0107.jp2)
- 4-2 実験 / p99 (0108.jp2)
- 4-3 結果 / p102 (0111.jp2)
- 4-4 考察 / p113 (0122.jp2)
- 4-5 まとめ / p119 (0128.jp2)
- 参考文献 / p120 (0129.jp2)
- 第5章 熱プラズマ合成ダイヤモンド膜の電気抵抗の変化 / p121 (0130.jp2)
- 5-1 はじめに / p121 (0130.jp2)
- 5-2 実験 / p122 (0131.jp2)
- 5-3 結果及び考察 / p126 (0135.jp2)
- 5-4 まとめ / p143 (0152.jp2)
- 参考文献 / p144 (0153.jp2)
- 第6章 総括 / p147 (0156.jp2)
- 謝辞 / a-1 / (0161.jp2)
- 本研究に関連した著者の論文 / a-2 / (0162.jp2)
