有機薄膜材料の特性解析と電子デバイスへの応用に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
有機薄膜材料の特性解析と電子デバイスへの応用に関する研究
- Author
-
遠藤, 厚志
- Author(Another name)
-
エンドウ, アツシ
- University
-
大阪大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第5796号
- Degree year
-
1992-09-22
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 序論 / p1 (0006.jp2)
- 1.関連分野の背景 / p1 (0006.jp2)
- 2.本研究の目的 / p8 (0013.jp2)
- 3.本研究の内容 / p9 (0014.jp2)
- 文献 / p10 (0015.jp2)
- 第1章 ポリイミド薄膜材料の特性解析 / p11 (0016.jp2)
- 1.1 緒言 / p11 (0016.jp2)
- 1.2 非感光性ポリイミドの化学構造とパターン加工性 / p13 (0018.jp2)
- 1.3 感光性ポリイミドの材料特性とプロセス技術 / p21 (0026.jp2)
- 1.4 ポリイミド薄膜の表示特性に与える影響 / p29 (0034.jp2)
- 1.5 結言 / p32 (0037.jp2)
- 文献 / p33 (0038.jp2)
- 第2章 ポリイミド薄膜の多層配線基板への応用 / p35 (0040.jp2)
- 2.1 緒言 / p35 (0040.jp2)
- 2.2 ハイブリッドIC基板(MCPH-Mitsubishi Copper Polyimide Hybrid)の試作 / p36 (0041.jp2)
- 2.3 金属ベース多層配線基板(MCPM-Mitsubishi Copper Polyimide Metal-Base)の試作 / p53 (0058.jp2)
- 2.4 結言 / p61 (0066.jp2)
- 文献 / p62 (0067.jp2)
- 第3章 ゼラチン薄膜材料の特性解析 / p63 (0068.jp2)
- 3.1 緒言 / p63 (0068.jp2)
- 3.2 パターン加工性に及ぼすゼラチン分子量の影響 / p65 (0070.jp2)
- 3.3 ADG薄膜の染色性 / p75 (0080.jp2)
- 3.4 ADG薄膜の染色性に及ぼすクロム原子密度の影響 / p79 (0084.jp2)
- 3.5 結言 / p84 (0089.jp2)
- 文献 / p85 (0090.jp2)
- 第4章 ゼラチン薄膜材料のカラーフィルタへの応用 / p86 (0091.jp2)
- 4.1 緒言 / p86 (0091.jp2)
- 4.2 ゼラチン薄膜を用いた固体撮像素子用カラーフィルタの試作 / p87 (0092.jp2)
- 4.3 ゼラチンカラーフィルタを用いたTFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)の試作 / p90 (0095.jp2)
- 4.4 結言 / p108 (0113.jp2)
- 文献 / p109 (0114.jp2)
- 総括 / p110 (0115.jp2)
- 謝辞 / p114 (0119.jp2)
- 研究業績目録 / p115 (0120.jp2)
