ICP発光分析法および二次イオン質量分析法によるセラミックスの分析に関する研究

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    • 森川, 久 モリカワ, ヒサシ

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Title

ICP発光分析法および二次イオン質量分析法によるセラミックスの分析に関する研究

Author

森川, 久

Author(Another name)

モリカワ, ヒサシ

University

名古屋大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第4182号

Degree year

1992-05-11

Note and Description

博士論文

名古屋大学博士学位論文 学位の種類:工学博士 (論文) 学位授与年月日:平成4年5月11日

Table of Contents

  1. 目次 / p2 (0005.jp2)
  2. 序論 / p1 (0008.jp2)
  3. 1 本研究の意義 / p1 (0008.jp2)
  4. 2 従来の研究 / p3 (0009.jp2)
  5. 3 本研究の概要 / p4 (0010.jp2)
  6. 文献 / p8 (0012.jp2)
  7. 第1編 ICP発光分析法に関する研究 / p11 (0013.jp2)
  8. 第1章 ICP発光分析法によるセラミックスの分析(総論) / p13 (0014.jp2)
  9. 1.1 緒言 / p13 (0014.jp2)
  10. 1.2 装置 / p14 (0015.jp2)
  11. 1.3 測定条件 / p20 (0018.jp2)
  12. 1.4 試料分解 / p20 (0018.jp2)
  13. 1.5 応用研究の現状 / p25 (0020.jp2)
  14. 1.6 要約 / p26 (0021.jp2)
  15. 第2章 装置および試料分解 / p27 (0021.jp2)
  16. 2.1 緒言 / p27 (0021.jp2)
  17. 2.2 装置および器具 / p27 (0021.jp2)
  18. 2.3 試料分解操作 / p29 (0022.jp2)
  19. 2.4 測定条件 / p29 (0022.jp2)
  20. 2.5 要約 / p31 (0023.jp2)
  21. 第3章 酸化アルミニウム中の不純物の定量 / p32 (0024.jp2)
  22. 3.1 緒言 / p32 (0024.jp2)
  23. 3.2 試料および試薬 / p33 (0024.jp2)
  24. 3.3 測定波長 / p33 (0024.jp2)
  25. 3.4 試料分解条件 / p33 (0024.jp2)
  26. 3.5 共存物質の影響 / p35 (0025.jp2)
  27. 3.6 検出限界 / p38 (0027.jp2)
  28. 3.7 検量線と精度 / p40 (0028.jp2)
  29. 3.8 実際試料の分析 / p40 (0028.jp2)
  30. 3.9 要約 / p40 (0028.jp2)
  31. 第4章 酸化チタン中の不純物の定量 / p41 (0028.jp2)
  32. 4.1 緒言 / p41 (0028.jp2)
  33. 4.2 試料および試薬 / p42 (0029.jp2)
  34. 4.3 測定波長 / p42 (0029.jp2)
  35. 4.4 試料分解条件 / p42 (0029.jp2)
  36. 4.5 アルミナトーチの耐フッ化水素酸性 / p44 (0030.jp2)
  37. 4.6 共存物質の影響 / p44 (0030.jp2)
  38. 4.7 検出限界 / p47 (0031.jp2)
  39. 4.8 検量線と精度 / p50 (0033.jp2)
  40. 4.9 実際試料の分析 / p50 (0033.jp2)
  41. 4.10 要約 / p52 (0034.jp2)
  42. 第5章 チタン酸バリウム中の不純物の定量 / p53 (0034.jp2)
  43. 5.1 緒言 / p53 (0034.jp2)
  44. 5.2 試料および試薬 / p53 (0034.jp2)
  45. 5.3 測定波長 / p54 (0035.jp2)
  46. 5.4 試料分解条件 / p54 (0035.jp2)
  47. 5.5 共存物質の影響 / p54 (0035.jp2)
  48. 5.6 検出限界 / p60 (0038.jp2)
  49. 5.7 検量線と精度 / p60 (0038.jp2)
  50. 5.8 実際試料の分析 / p61 (0038.jp2)
  51. 5.9 要約 / p61 (0038.jp2)
  52. 第6章 窒化ホウ素中の不純物の定量 / p65 (0040.jp2)
  53. 6.1 緒言 / p65 (0040.jp2)
  54. 6.2 試料および試薬 / p66 (0041.jp2)
  55. 6.3 測定波長 / p66 (0041.jp2)
  56. 6.4 試料分解条件 / p67 (0041.jp2)
  57. 6.5 共存物質の影響 / p67 (0041.jp2)
  58. 6.6 検出限界 / p70 (0043.jp2)
  59. 6.7 検量線と精度 / p70 (0043.jp2)
  60. 6.8 実際試料の分析 / p75 (0045.jp2)
  61. 6.9 要約 / p75 (0045.jp2)
  62. 第7章 炭化チタンおよび窒化チタン中の不純物の定量 / p76 (0046.jp2)
  63. 7.1 緒言 / p76 (0046.jp2)
  64. 7.2 試料および試薬 / p76 (0046.jp2)
  65. 7.3 測定波長 / p78 (0047.jp2)
  66. 7.4 試料分解条件 / p78 (0047.jp2)
  67. 7.5 共存物質の影響 / p78 (0047.jp2)
  68. 7.6 検出限界 / p82 (0049.jp2)
  69. 7.7 検量線と精度 / p84 (0050.jp2)
  70. 7.8 実際試料の分析 / p84 (0050.jp2)
  71. 7.9 要約 / p87 (0051.jp2)
  72. 第8章 炭化ジルコニウムおよび窒化ジルコニウム中の不純物の定量 / p88 (0052.jp2)
  73. 8.1 緒言 / p88 (0052.jp2)
  74. 8.2 試料および試薬 / p89 (0052.jp2)
  75. 8.3 測定波長 / p89 (0052.jp2)
  76. 8.4 試料分解条件 / p89 (0052.jp2)
  77. 8.5 共存物質の影響 / p91 (0053.jp2)
  78. 8.6 検出限界 / p92 (0054.jp2)
  79. 8.7 検量線と精度 / p93 (0054.jp2)
  80. 8.8 実際試料の分析 / p93 (0054.jp2)
  81. 8.9 要約 / p93 (0054.jp2)
  82. 第1編 総括 / p97 (0056.jp2)
  83. 第1編 文献 / p99 (0057.jp2)
  84. 第2編 二次イオン質量分析法に関する研究 / p103 (0059.jp2)
  85. 第1章 二次イオン質量分析法によるセラミックスの分析(総論) / p105 (0060.jp2)
  86. 1.1 緒言 / p105 (0060.jp2)
  87. 1.2 装置 / p106 (0061.jp2)
  88. 1.3 応用研究の現状 / p110 (0063.jp2)
  89. 1.4 セラミックスの分析に適用する際の問題点 / p111 (0063.jp2)
  90. 1.5 要約 / p115 (0065.jp2)
  91. 第2章 装置および測定条件 / p116 (0066.jp2)
  92. 2.1 緒言 / p116 (0066.jp2)
  93. 2.2 装置および器具 / p117 (0066.jp2)
  94. 2.3 測定条件 / p119 (0067.jp2)
  95. 2.4 要約 / p120 (0068.jp2)
  96. 第3章 導電性粉末混合法によるセラミックス粉末の分析における問題点 / p124 (0070.jp2)
  97. 3.1 緒言 / p124 (0070.jp2)
  98. 3.2 試料 / p125 (0070.jp2)
  99. 3.3 二次イオン強度の再現性 / p125 (0070.jp2)
  100. 3.4 グラファイト粉末の混合割合 / p127 (0071.jp2)
  101. 3.5 チャージアップの局在 / p127 (0071.jp2)
  102. 3.6 グラファイト粉末中の不純物 / p130 (0073.jp2)
  103. 3.7 要約 / p133 (0074.jp2)
  104. 第4章 導電性粉末混合法による酸化イットリウム中の希土類元素の定量 / p136 (0076.jp2)
  105. 4.1 緒言 / p136 (0076.jp2)
  106. 4.2 試薬および試料 / p137 (0076.jp2)
  107. 4.3 試料表面の粗さ / p138 (0077.jp2)
  108. 4.4 スペクトル妨害の低減 / p138 (0077.jp2)
  109. 4.5 元素間の相対感度 / p145 (0080.jp2)
  110. 4.6 検量線と精度 / p145 (0080.jp2)
  111. 4.7 検出限界 / p148 (0082.jp2)
  112. 4.8 合成試料の分析 / p148 (0082.jp2)
  113. 4.9 要約 / p148 (0082.jp2)
  114. 第5章 導電性粉末混合法による酸化アルミニウム中の不純物の定量 / p151 (0083.jp2)
  115. 5.1 緒言 / p151 (0083.jp2)
  116. 5.2 試薬および試料 / p152 (0084.jp2)
  117. 5.3 バックグラウンド / p152 (0084.jp2)
  118. 5.4 標準試料の均質性 / p153 (0084.jp2)
  119. 5.5 不純物元素の元素間の相対感度 / p153 (0084.jp2)
  120. 5.6 検量線と精度 / p156 (0086.jp2)
  121. 5.7 検出限界 / p156 (0086.jp2)
  122. 5.8 実際試料の分析 / p158 (0087.jp2)
  123. 5.9 要約 / p158 (0087.jp2)
  124. 第6章 導電処理不要のセラミックス粉末の分析 / p162 (0089.jp2)
  125. 6.1 緒言 / p162 (0089.jp2)
  126. 6.2 試料と試料保持具 / p163 (0089.jp2)
  127. 6.3 測定パラメーター / p163 (0089.jp2)
  128. 6.4 一次イオンビームの偏向と二次電子収率 / p163 (0089.jp2)
  129. 6.5 二次イオン強度 / p165 (0090.jp2)
  130. 6.6 二次イオンエネルギー分布 / p165 (0090.jp2)
  131. 6.7 試料上空の電位勾配と二次電子の挙動 / p171 (0093.jp2)
  132. 6.8 測定の最適条件 / p172 (0094.jp2)
  133. 6.9 分子イオンの低減 / p172 (0094.jp2)
  134. 6.10 定量分析の可能性 / p174 (0095.jp2)
  135. 6.11 要約 / p175 (0095.jp2)
  136. 第7章 サンプルバイアスシフト法を用いるセラミックス焼結体の分析 / p176 (0096.jp2)
  137. 7.1 緒言 / p176 (0096.jp2)
  138. 7.2 試料 / p177 (0096.jp2)
  139. 7.3 チャージアップの安定性 / p177 (0096.jp2)
  140. 7.4 チャージングポテンシャル / p179 (0097.jp2)
  141. 7.5 二次イオンの特性 / p181 (0098.jp2)
  142. 7.6 絶縁物試料上のポテンシャル井戸 / p187 (0101.jp2)
  143. 7.7 スペクトル妨害の低減 / p187 (0101.jp2)
  144. 7.8 要約 / p189 (0102.jp2)
  145. 第8章 サンプルバイアスシフト法を用いる酸化アルミニウムおよび窒化ケイ素焼結体の不純物分析 / p190 (0103.jp2)
  146. 8.1 緒言 / p190 (0103.jp2)
  147. 8.2 試料 / p191 (0103.jp2)
  148. 8.3 チャージアップ補正 / p191 (0103.jp2)
  149. 8.4 二次イオン信号強度の再現性 / p193 (0104.jp2)
  150. 8.5 スペクトル妨害の低減 / p196 (0106.jp2)
  151. 8.6 相対感度係数 / p198 (0107.jp2)
  152. 8.7 検出限界 / p198 (0107.jp2)
  153. 8.8 実際試料の分析 / p198 (0107.jp2)
  154. 8.9 要約 / p201 (0108.jp2)
  155. 第2編 総括 / p203 (0109.jp2)
  156. 第2編 文献 / p205 (0110.jp2)
  157. 結論 / p211 (0113.jp2)
  158. 関連論文 / p215 (0115.jp2)
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  • NII Article ID (NAID)
    500000091509
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000091734
  • DOI(NDL)
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000000255823
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