炭素、窒素、酸素イオン注入による鉄表層の改質に関する研究

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著者

    • 藤花, 隆宣 フジハナ, タカノブ

書誌事項

タイトル

炭素、窒素、酸素イオン注入による鉄表層の改質に関する研究

著者名

藤花, 隆宣

著者別名

フジハナ, タカノブ

学位授与大学

埼玉大学

取得学位

博士 (学術)

学位授与番号

甲第21号

学位授与年月日

1992-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p5 (0005.jp2)
  2. 内容梗概 / p1 (0003.jp2)
  3. 謝辞 / p4 (0005.jp2)
  4. 第1章 序論 / p1 (0008.jp2)
  5. 第1節 表層処理技術としてのイオン注入 / p1 (0008.jp2)
  6. 第2節 イオン注入の歴史 / p2 (0009.jp2)
  7. (1)物理化学的性質(注入粒子の分布) / p5 (0010.jp2)
  8. (2)機械的性質 / p6 (0011.jp2)
  9. (3)電気化学的性質(耐食性) / p8 (0012.jp2)
  10. 第3節 イオン注入装置とイオン注入法の特徴 / p10 (0013.jp2)
  11. (1)最大加速電圧200kV大電流イオン注入装置(ATI-200) / p12 (0014.jp2)
  12. (2)最大加速電圧120kV中電流イオン注入装置(TK-100) / p12 (0014.jp2)
  13. (3)最大加速電圧100kV直進型イオン注入装置(SIT-100) / p12 (0014.jp2)
  14. (4)最大加速電圧200kV低電流イオン注入装置(RIKEN 200kV Low Current Implanter) / p19 (0017.jp2)
  15. 第4節 本研究の目的 / p22 (0019.jp2)
  16. 第1章の参考文献 / p25 (0020.jp2)
  17. 第2章 表層組成 / p31 (0023.jp2)
  18. 第1節 緒言 / p31 (0023.jp2)
  19. 1-1.飛程理論 / p31 (0023.jp2)
  20. 1-2.深さ方向分布測定法 / p34 (0025.jp2)
  21. 1-3.本章の概要 / p36 (0026.jp2)
  22. 第2節 実験 / p37 (0026.jp2)
  23. 2-1.基板 / p37 (0026.jp2)
  24. 2-2.イオン注入条件 / p37 (0026.jp2)
  25. 2-3.分析条件 / p39 (0027.jp2)
  26. 第3節 結果 / p40 (0028.jp2)
  27. 3-1.炭素分布 / p40 (0028.jp2)
  28. 3-2.窒素分布 / p42 (0029.jp2)
  29. 3-3.酸素分布 / p52 (0034.jp2)
  30. 第4節 考察 / p56 (0036.jp2)
  31. 4-1.注入層の密度変化 / p56 (0036.jp2)
  32. 4-2.酸素注入時の酸素の混入 / p58 (0037.jp2)
  33. 4-3.台形型分布の形成過程 / p60 (0038.jp2)
  34. 第5節 結言 / p61 (0038.jp2)
  35. 第2章の参考文献 / p63 (0039.jp2)
  36. 第3章 結合状態･結晶構造 / p66 (0041.jp2)
  37. 第1節 緒言 / p66 (0041.jp2)
  38. 1-1.物質合成技術としてのイオン注入 / p66 (0041.jp2)
  39. 1-2.化学結合状態,結晶構造分析法 / p68 (0042.jp2)
  40. 1-3.本章の概要 / p68 (0042.jp2)
  41. 第2節 実験 / p69 (0042.jp2)
  42. 2-1.基板 / p69 (0042.jp2)
  43. 2-2.イオン注入条件 / p69 (0042.jp2)
  44. 2-3.分析条件 / p70 (0043.jp2)
  45. 第3節 結果 / p72 (0044.jp2)
  46. 3-1.深さ方向分布 / p72 (0044.jp2)
  47. 3-2.最表面の化学結合状態 / p76 (0046.jp2)
  48. 3-3.注入層の化学結合状態 / p85 (0050.jp2)
  49. 3-4.結晶構造 / p93 (0054.jp2)
  50. 第4節 考察 / p96 (0056.jp2)
  51. 4-1.形成される化合物の結晶性と衝突過程 / p96 (0056.jp2)
  52. 4-2.結晶構造と注入層の鉄の密度 / p99 (0057.jp2)
  53. 4-3.結晶構造と台形型分布の形成過程 / p101 (0058.jp2)
  54. 第5節 結言 / p102 (0059.jp2)
  55. 第3章の参考文献 / p104 (0060.jp2)
  56. 第4章 機械的性質 / p107 (0061.jp2)
  57. 第1節 緒言 / p107 (0061.jp2)
  58. 1-1.表層硬化技術 / p107 (0061.jp2)
  59. 1-2.機械的性質と硬さの関係 / p108 (0062.jp2)
  60. 1-3.本章の概要 / p109 (0062.jp2)
  61. 第2節 実験 / p109 (0062.jp2)
  62. 2-1.基板 / p109 (0062.jp2)
  63. 2-2.イオン注入条件 / p110 (0063.jp2)
  64. 2-3.硬さ測定 / p111 (0063.jp2)
  65. 第3節 結果 / p112 (0064.jp2)
  66. 3-1.室温注入 / p112 (0064.jp2)
  67. 3-2.高温注入 / p112 (0064.jp2)
  68. 第4節 考察 / p118 (0067.jp2)
  69. 4-1.室温注入した試料表層の組成･構造と硬さ / p118 (0067.jp2)
  70. 4-2.高温注入した試料表層の組成･構造と硬さ / p121 (0068.jp2)
  71. 第5節 結言 / p127 (0071.jp2)
  72. 付録｢金型鋼への窒素イオン注入｣ / p129 (0072.jp2)
  73. 1.はじめに / p129 (0072.jp2)
  74. 2.窒素イオン注入金型鋼の機械的性質 / p131 (0073.jp2)
  75. 3.金属-金属接触時の摩耗機構 / p139 (0077.jp2)
  76. 4.まとめ / p143 (0079.jp2)
  77. 第4章の参考文献 / p144 (0080.jp2)
  78. 第5章 電気化学的性質 / p145 (0080.jp2)
  79. 第1節 緒言 / p145 (0080.jp2)
  80. 第2節 実験 / p148 (0082.jp2)
  81. 2-1.基板 / p148 (0082.jp2)
  82. 2-2.イオン注入条件 / p148 (0082.jp2)
  83. 2-3.電気化学反応測定条件 / p149 (0082.jp2)
  84. 第3節 結果 / p149 (0082.jp2)
  85. 3-1.アノード溶解反応 / p149 (0082.jp2)
  86. 3-2.ピークアノード電流の推移 / p161 (0088.jp2)
  87. 3-3.鉄の溶出量 / p164 (0090.jp2)
  88. 第4節 考察 / p169 (0092.jp2)
  89. 4-1.注入分布と溶解抑制効果 / p169 (0092.jp2)
  90. 4-2.薄膜状炭素層の形成機構 / p173 (0094.jp2)
  91. 第5節 結言 / p176 (0096.jp2)
  92. 第5章の参考文献 / p178 (0097.jp2)
  93. 第6章 結論 / p180 (0098.jp2)
  94. 研究業績 / p184 (0100.jp2)
5アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000092029
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000092254
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000256343
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション

書き出し

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