レーザー蛍光法によるプロセシングプラズマ中の粒子挙動に関する研究

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博士論文

目次 / p1 (0003.jp2)
記号の説明 / 記1 / (0006.jp2)
第1章序論 / p1 (0012.jp2)
1.1 プラズマプロセシングとレーザー計測 / p1 (0012.jp2)
1.2 本研究の意義と要約 / p7 (0018.jp2)
1.3 本論文の構成 / p8 (0019.jp2)
第2章レーザー蛍光法の原理と本研究への適用条件 / p11 (0022.jp2)
2.1 まえがき / p11 (0022.jp2)
2.2 レーザー蛍光法の概要 / p12 (0023.jp2)
2.3 鉄原子の速度分布測定のためのレーザー蛍光法 / p18 (0029.jp2)
2.4 水素原子密度計測のための二光子励起レーザー蛍光法 / p22 (0033.jp2)
2.5 本章のまとめ / p29 (0040.jp2)
第3章 RFマグネトロンスパッター粒子の熱化過程 / p30 (0041.jp2)
3.1 まえがき / p30 (0041.jp2)
3.2 RFマグネトロンスパッタリングによるデポジションの概要 / p32 (0043.jp2)
3.3 実験装置 / p39 (0050.jp2)
3.4 実験結果及び考察 / p46 (0057.jp2)
3.5 本章のまとめ / p57 (0068.jp2)
第4章プロセシングプラズマ中の水素原子密度計測 / p58 (0069.jp2)
4.1 まえがき / p58 (0069.jp2)
4.2 実験結果の整理法 / p60 (0071.jp2)
4.3 実験装置 / p62 (0073.jp2)
4.4 実験結果 / p76 (0087.jp2)
4.5 考察 / p78 (0089.jp2)
4.6 水素原子密度計測への適用 / p84 (0095.jp2)
4.7 本章のまとめ / p86 (0097.jp2)
第5章総括 / p87 (0098.jp2)
5.1 結論 / p87 (0098.jp2)
5.2 今後の展望 / p88 (0099.jp2)
参考文献 / p90 (0101.jp2)
謝辞 / p94 (0105.jp2)

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