超高真空-反射型電子線ホログラフィー顕微鏡の開発
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Bibliographic Information
- Title
-
超高真空-反射型電子線ホログラフィー顕微鏡の開発
- Author
-
竹口, 雅樹
- Author(Another name)
-
タケグチ, マサキ
- University
-
大阪大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第4794号
- Degree year
-
1993-03-25
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / (0003.jp2)
- 緒論 / p1 (0005.jp2)
- 第1章 反射型電子顕微鏡法と反射型電子線ホログラフィー / p3 (0006.jp2)
- 1-1 緒言 / p3 (0006.jp2)
- 1-2 反射型電子顕微鏡法(REM)の歴史 / p4 (0007.jp2)
- 1-3 反射型電子顕微鏡法(REM) / p6 (0008.jp2)
- 1-4 超高真空一反射型電子顕微鏡法(UHV-REM) / p16 (0013.jp2)
- 1-5 反射型電子線ホログラフィー / p21 (0015.jp2)
- 1-6 超高真空一反射型電子線ホログラフィー顕微鏡(UHV-REHM)の基本の構想 / p29 (0019.jp2)
- 1-7 結言 / p30 (0020.jp2)
- 第2章 Zr-O/W(100)熱電界放出型高輝度電子銃の開発 / p32 (0021.jp2)
- 2-1 緒言 / p32 (0021.jp2)
- 2-2 Zr-O/W(100)熱電界放出型高輝度電子銃 / p32 (0021.jp2)
- 2-3 Zr-O/W(100)の物性 / p42 (0026.jp2)
- 2-4 Zr-O/W(100)TFE陰極の作製及び特性評価 / p43 (0026.jp2)
- 2-5 高輝度電子線ホログラフィー顕微鏡 / p54 (0032.jp2)
- 2-6 基本的性能評価 / p61 (0035.jp2)
- 2-7 Zr-O/W(100)TFE電子銃の輝度測定 / p64 (0037.jp2)
- 2-8 電子線ホログラムの性能評価 / p73 (0041.jp2)
- 2-9 緒言 / p73 (0041.jp2)
- 第3章 超高真空試料室の開発 / p75 (0042.jp2)
- 3-1 緒言 / p75 (0042.jp2)
- 3-2 超高真空試料室の基本設計 / p76 (0043.jp2)
- 3-3 試料ホルダーステージの構造 / p80 (0045.jp2)
- 3-4 2軸傾斜型通加熱ホルダー / p84 (0047.jp2)
- 3-5 電子線パイプリズム / p87 (0048.jp2)
- 3-6 排気テスト / p89 (0049.jp2)
- 3-7 結言 / p91 (0050.jp2)
- 第4章 超高真空一反射型電子線ホログラフィー顕微鏡(UHV-REHM)の特性評価 / p92 (0051.jp2)
- 4-1 緒言 / p92 (0051.jp2)
- 4-2 排気特性 / p92 (0051.jp2)
- 4-3 超高真空反射型電子顕微鏡法(UHV-REM)の評価実験 / p96 (0053.jp2)
- 4-4 結言 / p106 (0058.jp2)
- 総括 / p107 (0058.jp2)
- 参考文献 / p110 (0060.jp2)
- 発表論文リスト / p116 (0063.jp2)
- 学術講演 / p117 (0063.jp2)
- 謝辞 / p118 (0064.jp2)
