室内エアロゾルの計測と汚染制御に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
室内エアロゾルの計測と汚染制御に関する研究
- 著者名
-
呂, 俊民
- 著者別名
-
ロ, トシタミ
- 学位授与大学
-
慶應義塾大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
乙第2580号
- 学位授与年月日
-
1993-03-05
注記・抄録
博士論文
目次
- 論文目録 (1コマ目)
- 目次 (5コマ目)
- 第1章 緒論/p1 (9コマ目)
- 1.1 はじめに/p1 (9コマ目)
- 1.2 本研究の概要/p3 (11コマ目)
- 第2章 クリーンルームの概要と測定法の解説/p7 (15コマ目)
- 2.1 緒言/p7 (15コマ目)
- 2.2 クリーンルームの概要と関連する基準/p7 (15コマ目)
- 2.3 エアロゾルの測定法/p16 (24コマ目)
- 2.4 クリーンルームにおけるエアロゾル濃度測定法/p27 (35コマ目)
- 2.5 室内のエアロゾル濃度の予測/p43 (51コマ目)
- 2.6 結語/p46 (54コマ目)
- 第3章 室内のエアロゾル発生源/p47 (55コマ目)
- 3.1 緒言/p47 (55コマ目)
- 3.2 クリーンルームにおける作業者の動作別発塵量と機器発塵量/p48 (56コマ目)
- 3.3 クリーンルームにおける作業者からのナトリウム発生量/p54 (62コマ目)
- 3.4 クリーンロボットの発塵特性/p67 (75コマ目)
- 3.5 オフィスにおける喫煙による発塵量/p79 (87コマ目)
- 3.6 結語/p84 (92コマ目)
- 第4章 外気中のエアロゾル濃度測定/p85 (93コマ目)
- 4.1 緒言/p85 (93コマ目)
- 4.2 外気中の個数濃度/p86 (94コマ目)
- 4.3 外気中の海塩粒子濃度/p91 (99コマ目)
- 4.4 結語/p101 (109コマ目)
- 第5章 室内のエアロゾルの浄化方法/p102 (110コマ目)
- 5.1 緒言/p102 (110コマ目)
- 5.2 クリーンルームにおける気流制御による浄化/p103 (111コマ目)
- 5.3 エアフィルタによ海塩粒子の捕集/p114 (122コマ目)
- 5.4 オフィスにおける空気浄化装置による浄化/p127 (135コマ目)
- 5.5 結語/p140 (148コマ目)
- 第6章 室内におけるエアロゾルの計測/p141 (149コマ目)
- 6.1 緒言/p141 (149コマ目)
- 6.2 クリーンルームにおけるサブミクロン粒子の測定/p142 (150コマ目)
- 6.3 クリーンルームにおけるナトリウム濃度の測定/p164 (172コマ目)
- 6.4 クリーンルームにおける付着粒子の測定/p172 (180コマ目)
- 6.5 クリーンルーム計測ロボットによる測定/p181 (189コマ目)
- 6.6 オフィスにおける喫煙汚染の測定/p194 (202コマ目)
- 6.7 結語/p197 (205コマ目)
- 第7章 PIXE法によるクリーンルーム環境の評価/p198 (206コマ目)
- 7.1 緒言/p198 (206コマ目)
- 7.2 環境評価のための製造プロセスおよびクリーンルームの概要/p199 (207コマ目)
- 7.3 測定方法/p202 (210コマ目)
- 7.4 測定結果と考察/p209 (217コマ目)
- 7.5 まとめ/p219 (227コマ目)
- 7.6 結語/p219 (227コマ目)
- 第8章 PIXE法によるオフィス環境の評価/p221 (229コマ目)
- 8.1 緒言/p221 (229コマ目)
- 8.2 方法/p222 (230コマ目)
- 8.3 結果および考察/p224 (232コマ目)
- 8.4 まとめ/p244 (252コマ目)
- 8.5 結語/p245 (253コマ目)
- 第9章 総括/p246 (254コマ目)
- 引用文献/p251 (259コマ目)
- 参考論文および学会発表等/p262 (270コマ目)
- 謝辞/p268 (276コマ目)