室内エアロゾルの計測と汚染制御に関する研究

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著者

    • 呂, 俊民 ロ, トシタミ

書誌事項

タイトル

室内エアロゾルの計測と汚染制御に関する研究

著者名

呂, 俊民

著者別名

ロ, トシタミ

学位授与大学

慶應義塾大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第2580号

学位授与年月日

1993-03-05

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 (1コマ目)
  2. 目次 (5コマ目)
  3. 第1章 緒論/p1 (9コマ目)
  4. 1.1 はじめに/p1 (9コマ目)
  5. 1.2 本研究の概要/p3 (11コマ目)
  6. 第2章 クリーンルームの概要と測定法の解説/p7 (15コマ目)
  7. 2.1 緒言/p7 (15コマ目)
  8. 2.2 クリーンルームの概要と関連する基準/p7 (15コマ目)
  9. 2.3 エアロゾルの測定法/p16 (24コマ目)
  10. 2.4 クリーンルームにおけるエアロゾル濃度測定法/p27 (35コマ目)
  11. 2.5 室内のエアロゾル濃度の予測/p43 (51コマ目)
  12. 2.6 結語/p46 (54コマ目)
  13. 第3章 室内のエアロゾル発生源/p47 (55コマ目)
  14. 3.1 緒言/p47 (55コマ目)
  15. 3.2 クリーンルームにおける作業者の動作別発塵量と機器発塵量/p48 (56コマ目)
  16. 3.3 クリーンルームにおける作業者からのナトリウム発生量/p54 (62コマ目)
  17. 3.4 クリーンロボットの発塵特性/p67 (75コマ目)
  18. 3.5 オフィスにおける喫煙による発塵量/p79 (87コマ目)
  19. 3.6 結語/p84 (92コマ目)
  20. 第4章 外気中のエアロゾル濃度測定/p85 (93コマ目)
  21. 4.1 緒言/p85 (93コマ目)
  22. 4.2 外気中の個数濃度/p86 (94コマ目)
  23. 4.3 外気中の海塩粒子濃度/p91 (99コマ目)
  24. 4.4 結語/p101 (109コマ目)
  25. 第5章 室内のエアロゾルの浄化方法/p102 (110コマ目)
  26. 5.1 緒言/p102 (110コマ目)
  27. 5.2 クリーンルームにおける気流制御による浄化/p103 (111コマ目)
  28. 5.3 エアフィルタによ海塩粒子の捕集/p114 (122コマ目)
  29. 5.4 オフィスにおける空気浄化装置による浄化/p127 (135コマ目)
  30. 5.5 結語/p140 (148コマ目)
  31. 第6章 室内におけるエアロゾルの計測/p141 (149コマ目)
  32. 6.1 緒言/p141 (149コマ目)
  33. 6.2 クリーンルームにおけるサブミクロン粒子の測定/p142 (150コマ目)
  34. 6.3 クリーンルームにおけるナトリウム濃度の測定/p164 (172コマ目)
  35. 6.4 クリーンルームにおける付着粒子の測定/p172 (180コマ目)
  36. 6.5 クリーンルーム計測ロボットによる測定/p181 (189コマ目)
  37. 6.6 オフィスにおける喫煙汚染の測定/p194 (202コマ目)
  38. 6.7 結語/p197 (205コマ目)
  39. 第7章 PIXE法によるクリーンルーム環境の評価/p198 (206コマ目)
  40. 7.1 緒言/p198 (206コマ目)
  41. 7.2 環境評価のための製造プロセスおよびクリーンルームの概要/p199 (207コマ目)
  42. 7.3 測定方法/p202 (210コマ目)
  43. 7.4 測定結果と考察/p209 (217コマ目)
  44. 7.5 まとめ/p219 (227コマ目)
  45. 7.6 結語/p219 (227コマ目)
  46. 第8章 PIXE法によるオフィス環境の評価/p221 (229コマ目)
  47. 8.1 緒言/p221 (229コマ目)
  48. 8.2 方法/p222 (230コマ目)
  49. 8.3 結果および考察/p224 (232コマ目)
  50. 8.4 まとめ/p244 (252コマ目)
  51. 8.5 結語/p245 (253コマ目)
  52. 第9章 総括/p246 (254コマ目)
  53. 引用文献/p251 (259コマ目)
  54. 参考論文および学会発表等/p262 (270コマ目)
  55. 謝辞/p268 (276コマ目)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000093945
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000094171
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000258259
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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