スチレン系ポリスルホンの合成及びポジ型レジスト高分子への応用
Access this Article
Search this Article
Author
Bibliographic Information
- Title
-
スチレン系ポリスルホンの合成及びポジ型レジスト高分子への応用
- Author
-
金, 炳圭
- Author(Another name)
-
キム, ビョンキュウ
- University
-
東北大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第4838号
- Degree year
-
1993-03-25
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0002.jp2)
- 第一章 研究の背景と目的 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 ポリスルホン / p1 (0005.jp2)
- 1.2 レジストについて / p3 (0006.jp2)
- 1.3 本研究の目的及び方法 / p5 (0007.jp2)
- 1.4 本論文の概要 / p7 (0008.jp2)
- 1.5 参考文献 / p9 (0009.jp2)
- 第二章 スチレン系ポリスルホンの合成 / p11 (0010.jp2)
- 2.1 序 / p11 (0010.jp2)
- 2.2 実験 / p15 (0012.jp2)
- 2.3 結果及び考察 / p20 (0014.jp2)
- 2.4 結論 / p62 (0035.jp2)
- 2.5 参考文献 / p63 (0036.jp2)
- 第三章 スチレン系ポリスルホンの光分解挙動 / p66 (0037.jp2)
- 3.1 序 / p66 (0037.jp2)
- 3.2 実験 / p71 (0040.jp2)
- 3.3 結果及び考察 / p76 (0042.jp2)
- 3.4 結論 / p93 (0051.jp2)
- 3.5 参考文献 / p96 (0052.jp2)
- 第四章 スチレン系ポリスルホンの脱保護基反応 / p97 (0053.jp2)
- 4.1 序 / p97 (0053.jp2)
- 4.2 実験 / p99 (0054.jp2)
- 4.3 結果及び考察 / p107 (0058.jp2)
- 4.4 結論 / p126 (0067.jp2)
- 4.5 参考文献 / p128 (0068.jp2)
- 第五章 スチレン系ポリスルホンのレジスト高分子への応用 / p131 (0070.jp2)
- 5.1 序 / p131 (0070.jp2)
- 5.2 実験 / p139 (0074.jp2)
- 5.3 結果及び考察 / p142 (0075.jp2)
- 5.4 結論 / p174 (0091.jp2)
- 5.5 参考文献 / p178 (0093.jp2)
- 第六章 総括 / p180 (0094.jp2)
- 謝辞 / p184 (0096.jp2)