FeCoZr系アモルファス磁性薄膜の磁気表面弾性波特性に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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FeCoZr系アモルファス磁性薄膜の磁気表面弾性波特性に関する研究
- 著者名
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金, 尚遠
- 著者別名
-
キム, サンウォン
- 学位授与大学
-
東北大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第4865号
- 学位授与年月日
-
1993-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0004.jp2)
- 1.1 表面弾性波(Surface-Acoustic-Wave,SAW)素子研究の概説 / p1 (0004.jp2)
- 1.2 SAW / p10 (0009.jp2)
- 1.3 磁気表面弾性波(Magneto-SAW.MSAW) / p12 (0010.jp2)
- 1.4 本研究の目的 / p20 (0014.jp2)
- 第2章 実験方法 / p24 (0016.jp2)
- 2.1 試料作製法 / p24 (0016.jp2)
- 2.2 試料の評価法 / p30 (0019.jp2)
- 2.3 磁気特性の評価 / p31 (0019.jp2)
- 2.4 MSAW特性の評価 / p42 (0025.jp2)
- 第3章 薄膜の磁気特性 / p47 (0027.jp2)
- 3.1 緒言 / p47 (0027.jp2)
- 3.2 スパッタ条件の決定 / p47 (0027.jp2)
- 3.3 構造解析 / p52 (0030.jp2)
- 3.4 保磁力の膜厚依存性 / p52 (0030.jp2)
- 3.5 結晶化温度の組成依存性 / p55 (0031.jp2)
- 3.6 交流透磁率の励磁場依存性 / p57 (0032.jp2)
- 3.7 交流透磁率の周波数依存性 / p59 (0033.jp2)
- 3.8 未熱処理試料における磁気特性の組成依存性 / p61 (0034.jp2)
- 3.9 熱処理した試料における磁気特性の組成及び温度依存性 / p75 (0041.jp2)
- 3.10 考察 / p95 (0051.jp2)
- 3.11 小括 / p105 (0056.jp2)
- 第4章 薄膜のMSAW特性 / p107 (0057.jp2)
- 4.1 緒言 / p107 (0057.jp2)
- 4.2 Rayleigh型MSAWの同定 / p107 (0057.jp2)
- 4.3 未熱処理試料におけるMSAW速度変化率 / p110 (0059.jp2)
- 4.4 熱処理した試料におけるMSAW速度変化率 / p124 (0066.jp2)
- 4.5 考察 / p134 (0071.jp2)
- 4.6 小括 / p155 (0081.jp2)
- 第5章 総括 / p157 (0082.jp2)
- 謝辞 / p159 (0083.jp2)
- 参考文献 / p160 (0084.jp2)