水素化アモルファスシリコン及び水素化アモルファスシリコンカーバイトの高品質化の研究
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Bibliographic Information
- Title
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水素化アモルファスシリコン及び水素化アモルファスシリコンカーバイトの高品質化の研究
- Author
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久保井, 收
- Author(Another name)
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クボイ, オサム
- University
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東北大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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乙第6064号
- Degree year
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1993-03-18
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第一章 序論 / p5 (0005.jp2)
- 第二章 水素及び重水素の高感度分析法の開発 / p7 (0006.jp2)
- 2-1 重イオン加速器を用いたラザフォード前方反跳法による分析法(ERDA法) / p7 (0006.jp2)
- 2-2 ¹⁵Nとの核反応による重水素の高感度分析法(NRA法) / p28 (0017.jp2)
- 第三章 水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)の高品質化の研究 / p39 (0022.jp2)
- 3-1 序 / p39 (0022.jp2)
- 3-2 a-Si:H成長温度の影響 / p40 (0023.jp2)
- 3-3 シラン(SiH₄)からのa-Si:Hの成長機構 / p52 (0029.jp2)
- 3-4 ジシラン(Si₂H₆)からのa-Si:Hの成長機構 / p65 (0035.jp2)
- 3-5 アモルファスシリコン太陽電池の特性 / p78 (0042.jp2)
- 第四章 水素化アモルファスシリコンカーバイド(a-SiCx:H)の高品質化の研究 / p86 (0046.jp2)
- 4-1 a-SiCx:Hの特性と炭素(C)濃度､ボロン(B)濃度､及びリン(P)濃度の関係 / p86 (0046.jp2)
- 第五章 結論 / p98 (0052.jp2)
- 謝辞 / p102 (0054.jp2)
- 本研究に関する論文 / p103 (0054.jp2)
- 発表論文 / p104 (0055.jp2)
- 参考文献 / p105 (0055.jp2)