スパッタ直接法による磁気記録用γ-Fe[2]O[3]薄膜の作製法の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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スパッタ直接法による磁気記録用γ-Fe[2]O[3]薄膜の作製法の研究
- 著者名
-
太田, 聡
- 著者別名
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オオタ, サトシ
- 学位授与大学
-
東北大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第6071号
- 学位授与年月日
-
1993-03-18
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
- 1.1 研究の背景 / p1 (0007.jp2)
- 1.2 フェライト薄膜媒体の作製法の研究経緯と課題 / p9 (0011.jp2)
- 1.3 本研究の目的と論文の構成 / p11 (0012.jp2)
- 第2章 スパッタリング行程における､ターゲット表面上の酸化反応の制御 / p13 (0013.jp2)
- 2.1 序 / p13 (0013.jp2)
- 2.2 実験方法 / p17 (0015.jp2)
- 2.3 実験結果と考察 / p21 (0017.jp2)
- 2.4 小括 / p42 (0028.jp2)
- 第3章 スパッタリング行程における､基板表面上の酸化反応の制御 / p43 (0028.jp2)
- 3.1 序 / p43 (0028.jp2)
- 3.2 実験方法 / p51 (0032.jp2)
- 3.3 実験結果と考察 / p54 (0034.jp2)
- 3.4 小括 / p82 (0048.jp2)
- 第4章 得られた[化学式]薄膜の特性 / p83 (0048.jp2)
- 4.1 序 / p83 (0048.jp2)
- 4.2 実験方法 / p85 (0049.jp2)
- 4.3 実験結果と考察 / p87 (0050.jp2)
- 4.4 小括 / p112 (0063.jp2)
- 第5章 [化学式]薄膜の熱処理によるγ-Fe₂O₃薄膜の作製とその特性 / p113 (0063.jp2)
- 5.1 序 / p113 (0063.jp2)
- 5.2 実験方法 / p118 (0066.jp2)
- 5.3 実験結果と考察 / p120 (0067.jp2)
- 5.4 小括 / p146 (0080.jp2)
- 第6章 磁気ディスクへの応用(電磁変換特性,熱的信頼性,機械的信頼性) / p147 (0080.jp2)
- 6.1 序 / p147 (0080.jp2)
- 6.2 実験方法 / p153 (0083.jp2)
- 6.3 実験結果と考察 / p158 (0086.jp2)
- 6.4 小括 / p194 (0104.jp2)
- 第7章 結論 / p195 (0104.jp2)
- 謝辞 / p199 (0106.jp2)
- 参考文献 / p200 (0107.jp2)
- 本研究に関する発表リスト / p205 (0109.jp2)