非晶質シリコン系薄膜の基礎物性と電子写真感光体への応用に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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非晶質シリコン系薄膜の基礎物性と電子写真感光体への応用に関する研究
- Author
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脇田, 和樹
- Author(Another name)
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ワキタ, カズキ
- University
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大阪府立大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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乙第728号
- Degree year
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1993-03-29
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次/p1 (3コマ目)
- 第1章 緒論/p1 (5コマ目)
- 第2章 非晶質シリコン系薄膜の製作/p7 (8コマ目)
- 2-1 緒言/p7 (8コマ目)
- 2-2 グロー放電プラズマ/p7 (8コマ目)
- 2-3 製作装置/p8 (9コマ目)
- 2-4 製作方法/p12 (11コマ目)
- 2-5 プラズマ発光分光法/p13 (11コマ目)
- 2-6 結言/p17 (13コマ目)
- 第3章 非晶質シリコン薄膜の基礎特性/p20 (15コマ目)
- 3-1 緒言/p20 (15コマ目)
- 3-2 不純物添加特性/p20 (15コマ目)
- 3-3 水素結合状態/p24 (17コマ目)
- 3-4 欠陥状態/p31 (20コマ目)
- 3-5 結言/p36 (23コマ目)
- 第4章 非晶質シリコン系化合物の基礎物性/p39 (24コマ目)
- 4-1 緒言/p39 (24コマ目)
- 4-2 非晶質シリコン酸化膜の基礎物性/p39 (24コマ目)
- 4-3 非晶質シリコン炭素膜の基礎物性/p48 (29コマ目)
- 4-4 非晶質シリコン窒素膜の基礎物性/p60 (35コマ目)
- 4-5 結言/p66 (38コマ目)
- 第5章 非晶質シリコン系電子写真感光体の製作と電子写真特性/p71 (40コマ目)
- 5-1 緒言/p71 (40コマ目)
- 5-2 電子写真感光体の製作/p74 (42コマ目)
- 5-3 電子写真感光体の特性/p80 (45コマ目)
- 5-4 高帯電能･高感度シリコン感光体/p93 (51コマ目)
- 5-5 非晶質シリコンカーバイド感光体/p102 (56コマ目)
- 5-6 他の感光体との比較/p109 (59コマ目)
- 5-7 結言/p111 (60コマ目)
- 第6章 総括/p114 (62コマ目)
- 謝辞/p117 (63コマ目)
