エキシマレーザ再結晶化シリコン膜の薄膜トランジスタ応用に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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エキシマレーザ再結晶化シリコン膜の薄膜トランジスタ応用に関する研究
- Author
-
清水, 和裕
- Author(Another name)
-
シミズ, カズヒロ
- University
-
東京工業大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第2606号
- Degree year
-
1993-03-26
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 論文目録 / (0002.jp2)
- 目次 / p1 (0004.jp2)
- 1 序論 / p4 (0005.jp2)
- 1.1 はじめに / p4 (0005.jp2)
- 1.2 液晶ディスプレイの現状 / p4 (0005.jp2)
- 1.3 液晶ディスプレイの原理 / p6 (0006.jp2)
- 1.4 TFT駆動アクティブ・マトリクス液晶ディスプレイ / p12 (0009.jp2)
- 1.5 周辺駆動回路の一体化 / p15 (0011.jp2)
- 1.6 poly-SiTFTの作製法と問題点 / p16 (0011.jp2)
- 1.7 レーザ結晶化poly-SiTFTの問題点 / p19 (0013.jp2)
- 1.8 本研究の目的及び概要 / p21 (0014.jp2)
- 2 ボトムゲート型poly-SiTFTの作製 / p24 (0015.jp2)
- 2.1 はじめに / p24 (0015.jp2)
- 2.2 エキシマレーザ結晶化法について / p24 (0015.jp2)
- 2.3 レーザ結晶化法によるpoly-Siの作製 / p31 (0019.jp2)
- 2.4 オンチップボトムゲート型poly-SiTFTの作製 / p37 (0022.jp2)
- 2.5 レーザ照射条件の最適化 / p46 (0026.jp2)
- 2.6 ポスト水素化条件の最適化 / p50 (0028.jp2)
- 2.7 トップゲート型poly-SiTFTとの性能比較 / p64 (0035.jp2)
- 2.8 まとめ / p73 (0040.jp2)
- 3 poly-Siの超巨大粒径化 / p74 (0040.jp2)
- 3.1 はじめに / p74 (0040.jp2)
- 3.2 溶融再結晶化過程の理論的検討 / p74 (0040.jp2)
- 3.3 結晶化速度低減法の検討 / p92 (0049.jp2)
- 3.4 ブリッジ法 / p94 (0050.jp2)
- 3.5 デュアルビーム法 / p109 (0058.jp2)
- 3.6 まとめ / p129 (0068.jp2)
- 4 エキシマレーザによる窒化シリコン膜の高品質化 / p130 (0068.jp2)
- 4.1 はじめに / p130 (0068.jp2)
- 4.2 SiN ゲートpoly-SiTFTの作製 / p131 (0069.jp2)
- 4.3 エキシマレーザアニールによるSiN膜の改質 / p133 (0070.jp2)
- 4.4 エキシマレーザ照射によるSiN膜の改質機構 / p148 (0077.jp2)
- 4.5 まとめ / p154 (0080.jp2)
- 5 ガラス基板上に作製した高性能poly-SiTFT / p155 (0081.jp2)
- 5.1 はじめに / p155 (0081.jp2)
- 5.2 オンチッププロセスの提案 / p156 (0082.jp2)
- 5.3 SiNゲートのレーザプレアニーリング効果 / p158 (0083.jp2)
- 5.4 ガラス基板上のデュアルビーム効果 / p162 (0085.jp2)
- 5.5 高性能オンチップTFTの作製 / p164 (0086.jp2)
- 5.6 まとめ / p169 (0088.jp2)
- 6 高移動度poly-SiTFTの高速論理回路への応用 / p170 (0089.jp2)
- 6.1 はじめに / p170 (0089.jp2)
- 6.2 自己整合ドーピング法 / p171 (0090.jp2)
- 6.3 自己整合poly-TFT作製プロセス / p178 (0093.jp2)
- 6.4 シフトレジスタ回路の応答速度の解析 / p180 (0094.jp2)
- 6.5 まとめ / p187 (0098.jp2)
- 7 結論 / p188 (0098.jp2)
- 謝辞 / p191 (0100.jp2)
- 参考文献 / p192 (0100.jp2)
- 発表文献 / p200 (0104.jp2)
- 付録 / p204 (0106.jp2)