直線運動精度の超精密計測・制御
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著者
書誌事項
- タイトル
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直線運動精度の超精密計測・制御
- 著者名
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山口, 城治
- 著者別名
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ヤマグチ, ジョウジ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第2640号
- 学位授与年月日
-
1993-03-26
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (3コマ目)
- 記号表 (6コマ目)
- 第1章 緒論/p1 (9コマ目)
- 1.1 背景/p1 (9コマ目)
- 1.2 従来の直線運動機構/p2 (10コマ目)
- 1.3 直線運動精度の計測法についての従来の研究/p4 (12コマ目)
- 1.4 研究の目的/p10 (18コマ目)
- 1.5 本論文の構成/p10 (18コマ目)
- 第2章 超精密直線運動機構/p13 (21コマ目)
- 2.1 緒言/p13 (21コマ目)
- 2.2 超精密直線運動機構の原理/p13 (21コマ目)
- 2.3 機械系の構成/p15 (23コマ目)
- 2.4 計測･制御系の構成/p20 (28コマ目)
- 2.5 超精密直線運動機構の特性/p40 (48コマ目)
- 2.6 結言/p66 (74コマ目)
- 第3章 液面を基準とする直線運動精度の計測と制御/p71 (79コマ目)
- 3.1 緒言/p71 (79コマ目)
- 3.2 液体の選定/p72 (80コマ目)
- 3.3 機械系の構成/p76 (84コマ目)
- 3.4 絶対基準に対する運動誤差の計測/p79 (87コマ目)
- 3.5 定盤の傾斜角制御を行わない場合/p84 (92コマ目)
- 3.6 定盤の傾斜角制御/p88 (96コマ目)
- 3.7 定盤の傾斜角制御を行った場合/p100 (108コマ目)
- 3.8 結言/p108 (116コマ目)
- 第4章 改良逐次3点法による直線運動精度の計測/p119 (127コマ目)
- 4.1 緒言/p119 (127コマ目)
- 4.2 仮想直線を絶対基準とする従来の計測法/p119 (127コマ目)
- 4.3 改良逐次3点法/p122 (130コマ目)
- 4.4 従来の逐次3点法の原理と誤差要因/p124 (132コマ目)
- 4.5 改良逐次3点法の原理/p127 (135コマ目)
- 4.6 シミュレーション/p133 (141コマ目)
- 4.7 実験/p138 (146コマ目)
- 4.8 結言/p164 (172コマ目)
- 第5章 結論/p169 (177コマ目)
- 5.1 結言/p169 (177コマ目)
- 5.2 今後の課題/p172 (180コマ目)
- 参考文献/p173 (181コマ目)
- 謝辞 (187コマ目)