CO[2]レーザによる硬質膜形成に関する研究
この論文にアクセスする
この論文をさがす
著者
書誌事項
- タイトル
-
CO[2]レーザによる硬質膜形成に関する研究
- 著者名
-
峯田, 進栄
- 著者別名
-
ミネタ, シンエイ
- 学位授与大学
-
東京工業大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
乙第2350号
- 学位授与年月日
-
1992-04-30
注記・抄録
博士論文
目次
- 論文目録 / (0002.jp2)
- 目次 / (0004.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
- 1.1 本研究の背景と意義 / p1 (0006.jp2)
- 1.2 本研究の目的と概要 / p6 (0009.jp2)
- 第2章 C0₂レーザを用いたPVD法の原理と装置 / p8 (0010.jp2)
- 2.1 C0₂レーザPVD法の原理と特徴 / p8 (0010.jp2)
- 2.2 実験に用いたC0₂レーザ発振器とそのビーム特性 / p12 (0012.jp2)
- 2.3 本章のまとめ / p21 (0016.jp2)
- 第3章 レーザPVD法によるセラミック膜の形成 / p23 (0017.jp2)
- 3.1 レーザPVD法によるセラミック蒸着特性 / p23 (0017.jp2)
- 3.2 形成されたセラミック膜の特性評価 / p27 (0019.jp2)
- 3.3 C0₂レーザ光吸収体への応用 / p38 (0025.jp2)
- 3.4 本章のまとめ / p42 (0027.jp2)
- 第4章 Nイオン付加レーザPVD法によるcBN膜の形成 / p44 (0028.jp2)
- 4.1 cBN膜形成技術の開発現状 / p45 (0028.jp2)
- 4.2 イオン化機構を付加したレーザPVD装置 / p47 (0029.jp2)
- 4.3 Nイオン付加条件とcBN膜の形成 / p51 (0031.jp2)
- 4.4 cBN膜の密着性評価 / p62 (0037.jp2)
- 4.5 cBN膜の耐摩耗性評価 / p67 (0039.jp2)
- 4.6 cBN膜のガラス成形用金型への応用 / p69 (0040.jp2)
- 4.7 本章のまとめ / p71 (0041.jp2)
- 第5章 レーザ誘起放電レーザPVD法による硬質炭素膜の形成 / p73 (0042.jp2)
- 5.1 非晶質硬質炭素膜形成技術の開発現状 / p73 (0042.jp2)
- 5.2 レーザ誘起放電を併用したレーザPVD装置 / p74 (0043.jp2)
- 5.3 DLC膜の形成 / p75 (0043.jp2)
- 5.4 DLC膜の応用 / p82 (0047.jp2)
- 5.5 本章のまとめ / p89 (0050.jp2)
- 第6章 結論 / p91 (0051.jp2)
- 謝辞 / p94 (0053.jp2)
- 参考文献 / p95 (0053.jp2)