半導体超格子構造の研究

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博士論文

目次 / (0003.jp2)
第1章序論 / (0005.jp2)
第1章の参考文献 / p11 (0016.jp2)
第2章 X線回折測定による成長中断の評価 / (0017.jp2)
2-1 緒言 / p12 (0018.jp2)
2-2 超格子からのX線回折 / p18 (0024.jp2)
2-3 試料作製 / p24 (0030.jp2)
2-4 X線回折測定 / p30 (0036.jp2)
2-5 計算機シミュレーション / p40 (0046.jp2)
2-6 考察 / p69 (0075.jp2)
2-7 結論 / p81 (0088.jp2)
第2章の参考文献 / p82 (0089.jp2)
第3章 off-Bragg条件下のX線回折測定によるヘテロ構造の評価 / (0091.jp2)
3-1 緒言 / p84 (0092.jp2)
3-2 試料作成 / p91 (0099.jp2)
3-3 off-Bragg条件下のX線回折 / p97 (0105.jp2)
3-4 回折パターンのシミュレーション / p102 (0110.jp2)
3-5 Mo管球をX線源に用いたoff-Bragg条件X線回折測定 / p113 (0121.jp2)
3-6 シンクロトロン放射光(SOR光)を光源としたX線異常散乱を用いたoff-Bragg条件下の回折測定 / p120 (0128.jp2)
3-7 III-V族化合族半導体ヘテロ構造への応用 / p136 (0144.jp2)
3-8 結論 / p140 (0148.jp2)
第3章の参考文献 / p142 (0150.jp2)
第4章結論 / (0153.jp2)
第4章の参考文献 / p153 (0162.jp2)
APPENDIX / (0163.jp2)
謝辞 / (0164.jp2)