回折モアレ式超精密自動位置決め技法の開発に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
回折モアレ式超精密自動位置決め技法の開発に関する研究
- Author
-
劉, 京南
- Author(Another name)
-
リュウ, ジンナン
- University
-
愛知工業大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
乙第1号
- Degree year
-
1996-03-18
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / (0003.jp2)
- 第1章 緒言 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 はじめに / p1 (0005.jp2)
- 1.2 位置決め技術の現状 / p5 (0009.jp2)
- 1.3 本論文の目的と構成 / p11 (0015.jp2)
- 第1章の文献 / p13 (0017.jp2)
- 第2章 回折モアレ信号を用いた超精密直線位置決め / p18 (0022.jp2)
- 2.1 はじめに / p18 (0022.jp2)
- 2.2 回折モアレセンサの特性 / p20 (0024.jp2)
- 2.3 位置決め方法 / p31 (0035.jp2)
- 2.4 実験 / p36 (0040.jp2)
- 2.5 結果と検討 / p50 (0054.jp2)
- 2.6 おわりに / p69 (0073.jp2)
- 第2章の文献 / p70 (0074.jp2)
- 第3章 回折モアレ信号を用いた超精密角度位置決め / p75 (0079.jp2)
- 3.1 はじめに / p75 (0079.jp2)
- 3.2 シミュレーションによる回折モアレ特性 / p76 (0080.jp2)
- 3.3 位置決め方法 / p81 (0085.jp2)
- 3.4 実験 / p83 (0087.jp2)
- 3.5 結果と検討 / p86 (0090.jp2)
- 3.6 おわりに / p94 (0099.jp2)
- 第3章の文献 / p95 (0100.jp2)
- 第4章 結言 / p97 (0102.jp2)
- 4.1 まとめ / p97 (0102.jp2)
- 4.2 結論と展望 / p98 (0103.jp2)
- 謝辞 / p100 (0105.jp2)
- 発表論文リスト / p101 (0106.jp2)