Nanometer scale fabrication using scanning tunneling microscopy 走査型トンネル顕微鏡によるナノスケールの加工に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
Nanometer scale fabrication using scanning tunneling microscopy
- タイトル別名
-
走査型トンネル顕微鏡によるナノスケールの加工に関する研究
- 著者名
-
安部, 司
- 著者別名
-
アベ, ツカサ
- 学位授与大学
-
名古屋大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第3443号
- 学位授与年月日
-
1996-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- Contents / p1 (0003.jp2)
- 1 Introduction / p1 (0004.jp2)
- 1.1 Historical Background / p1 (0004.jp2)
- 1.2 Electron Tunnel Effect / p2 (0005.jp2)
- 1.3 Principle of the Scanning Tunneling Microscope / p4 (0006.jp2)
- 1.4 Scanning Tunneling Microscopy and Related Techniques / p8 (0008.jp2)
- 1.5 Modes of Operation of Scanning Tunneling Microscope / p10 (0009.jp2)
- 1.6 Nanometer Scale Fabrication Using Scanning Tunneling Microscopy / p15 (0011.jp2)
- 1.7 Fabrication on Graphite / p21 (0014.jp2)
- 1.8 Purposes of This Thesis / p22 (0015.jp2)
- 2 Scanning Tunneling Microscope / p29 (0018.jp2)
- 3 Nanometer-scale pit formation on graphite surface and tip current / p37 (0022.jp2)
- 3.1 Introduction / p37 (0022.jp2)
- 3.2 Experimental Setup / p38 (0023.jp2)
- 3.3 Result and Discussion / p42 (0025.jp2)
- 3.4 Conclusions / p48 (0028.jp2)
- 4 Characteristics of DC-Voltage Etching of Graphite / p51 (0029.jp2)
- 4.1 Introduction / p52 (0030.jp2)
- 4.2 Experimental Setup / p53 (0030.jp2)
- 4.3 Structure Formation / p54 (0031.jp2)
- 4.4 Etching Characteristics and Controllability / p56 (0032.jp2)
- 4.5 Conclusions / p68 (0038.jp2)
- 5 Pit and Mound Formation on Arc-Evaporated Carbon Thin Film / p71 (0039.jp2)
- 5.1 Introduction / p72 (0040.jp2)
- 5.2 Experimental Setup / p72 (0040.jp2)
- 5.3 Etching of Evaporate Carbon Film / p75 (0041.jp2)
- 5.4 Mound Formation / p83 (0045.jp2)
- 5.5 Exfoliation of the Carbon Film / p91 (0049.jp2)
- 5.6 Conclusions / p94 (0051.jp2)
- 6 Monolayer Pit Formation on the HOPG Surface Using Oxygen Plasma and Thermal Oxidation / p99 (0053.jp2)
- 6.1 Introduction / p99 (0053.jp2)
- 6.2 Experimental Setup / p100 (0054.jp2)
- 6.3 Results and Discussions / p102 (0055.jp2)
- 6.4 Conclusions / p109 (0058.jp2)
- 7 Summery / p111 (0059.jp2)
- 7.1 General Summery / p111 (0059.jp2)
- 7.2 Future Prospect / p114 (0061.jp2)