多元スパッタリング法による強誘電体薄膜の作製とその特性評価 tagen supattaringuho ni yoru kyoyudentai hakumaku no sakusei to sono tokusei hyoka
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著者
書誌事項
- タイトル
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多元スパッタリング法による強誘電体薄膜の作製とその特性評価
- タイトル別名
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tagen supattaringuho ni yoru kyoyudentai hakumaku no sakusei to sono tokusei hyoka
- 著者名
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眞岩, 宏司
- 著者別名
-
マイワ, ヒロシ
- 学位授与大学
-
早稲田大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第1151号
- 学位授与年月日
-
1995-12-07
注記・抄録
博士論文
制度:新 ; 文部省報告番号:乙1151号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:1995/12/7 ; 早大学位記番号:新2249 ; 理工学図書館請求番号:1919
本文PDFは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルをPDFに変換したものである。
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目次
- <目次〉 / (0003.jp2)
- 1.緒言 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 はじめに / p1 (0005.jp2)
- 1.2 本研究の目的 / p2 (0006.jp2)
- 1.3 論文の概略 / p2 (0006.jp2)
- 1.4 本研究の背景 / p5 (0009.jp2)
- 2.実験方法 / p18 (0022.jp2)
- 2.1 成膜装置 / p18 (0022.jp2)
- 2.2 薄膜の評価 / p18 (0022.jp2)
- 3.多元スパッタリングで作製したPbTiO₃薄膜の結晶構造 / p25 (0029.jp2)
- 3.1 Pb-O系,La-O系,Ti-O系の薄膜の作製 / p25 (0029.jp2)
- 3.2 Pb/Ti入射比と各種基板上での結晶構造 / p28 (0032.jp2)
- 3.3 膜厚の変化に伴う結晶構造の変化 / p31 (0035.jp2)
- 3.4 鉛の再蒸発に関する熱力学的な考察 / p32 (0036.jp2)
- 4.多元スパッタリングで作製した(Pb,La)TiO₃薄膜の電気的特性 / p48 (0052.jp2)
- 4.1 (Pb,La)TiO₃を選択した理由 / p48 (0052.jp2)
- 4.2 RuO₂薄膜の作製とその電極としての特性 / p49 (0053.jp2)
- 4.3 各種基板上での(Pb,La)TiO₃薄膜の結晶構造と電気的特性 / p51 (0055.jp2)
- 4.4 電気的特性の膜厚依存性 / p54 (0058.jp2)
- 4.5 電気的特性の鉛含有量依存性 / p55 (0059.jp2)
- 4.6 疲労に伴う電気的特性の変化 / p58 (0062.jp2)
- 4.7 (Pb,La)TiO₃の組成と欠陥構造 / p59 (0063.jp2)
- 4.8 酸化ルテニウム上部電極の効果 / p62 (0066.jp2)
- 4.9 疲労した薄膜試料の回復 / p63 (0067.jp2)
- 4.10 疲労の機構に関する考察 / p66 (0070.jp2)
- 5.結論 / p112 (0116.jp2)
- 5.1 本研究の総括 / p112 (0116.jp2)
- 5.2 今後の展望と課題 / p116 (0120.jp2)
- 5.3 おわりに / p118 (0122.jp2)
- 謝辞 / p119 (0123.jp2)
- 参考文献 / p120 (0124.jp2)
- 研究業績 / p125 (0129.jp2)