α"-Fe[16]N[2]スパッタ薄膜の作製と磁性に関する研究
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書誌事項
- タイトル
-
α"-Fe[16]N[2]スパッタ薄膜の作製と磁性に関する研究
- 著者名
-
高橋, 秀行
- 著者別名
-
タカハシ, ヒデユキ
- 学位授与大学
-
東北大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第5629号
- 学位授与年月日
-
1996-03-26
注記・抄録
博士論文
目次
- -目次- / (0004.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
- 第1節 Fe-Nマルテンサイト相の結晶構造 / p1 (0007.jp2)
- 1. Fe-N化合物の相図 / p1 (0007.jp2)
- 2. α"-Fe₁₆N₂相のメスバウワースペクトル / p5 (0011.jp2)
- 第2節 窒化鉄相の磁性に関する研究の歴史 / p7 (0013.jp2)
- 1.実験 / p7 (0013.jp2)
- 2.理論 / p19 (0025.jp2)
- 第3節 本研究の目的 / p22 (0028.jp2)
- 第2章 実験方法 / p28 (0034.jp2)
- 第1節 薄膜の作製方法 / p28 (0034.jp2)
- 1.成膜装置 / p28 (0034.jp2)
- 2.ターゲット / p30 (0036.jp2)
- 3.基板とその洗浄方法 / p30 (0036.jp2)
- 4.成膜手順 / p34 (0040.jp2)
- 5.熱処理方法 / p35 (0041.jp2)
- 第2節 薄膜の膜厚と質量の決定方法 / p36 (0042.jp2)
- 1.膜厚 / p36 (0042.jp2)
- 2.膜質量 / p38 (0044.jp2)
- 第3節 プラズマ解析 / p39 (0045.jp2)
- 1.プローブ法 / p39 (0045.jp2)
- 2.発光分光法 / p44 (0050.jp2)
- 第4節 磁気測定 / p45 (0051.jp2)
- 1.飽和磁化 / p45 (0051.jp2)
- 2.磁気異方性 / p46 (0052.jp2)
- 第5節 構造解析 / p47 (0053.jp2)
- 1. X線回折法 / p47 (0053.jp2)
- 2.メスバウワー分光法 / p55 (0061.jp2)
- 3.透過電子顕微鏡法 / p55 (0061.jp2)
- 第6節 組成分析 / p56 (0062.jp2)
- 第7節 磁区観察 / p57 (0063.jp2)
- 第3章 Fe-N薄膜の作製とその構造 / p59 (0065.jp2)
- 第1節 緒言 / p59 (0065.jp2)
- 第2節 異なるスパッタ条件下で作製したFe-N薄膜の構造 / p60 (0066.jp2)
- 1.直流または高周波放電を用いた場合 / p60 (0066.jp2)
- 2.スパッタガス圧依存性 / p64 (0070.jp2)
- 3.成膜速度依存性 / p66 (0072.jp2)
- 第3節 異なる種類の基板上に作製したFe-N薄膜の構造 / p81 (0087.jp2)
- 1.ガラス基板 / p81 (0087.jp2)
- 2. MgO単結晶基板 / p82 (0088.jp2)
- 3. GaAs単結晶基板 / p85 (0091.jp2)
- 第4節 膜厚を変化させて作成したFe-N薄膜の構造 / p96 (0102.jp2)
- 第5節 エピタキシャル成長の安定性 / p100 (0106.jp2)
- 第6節 結言 / p103 (0109.jp2)
- 第4章 Fe₁₋xNxマルテンサイト薄膜の構造と磁性 / p108 (0114.jp2)
- 第1節 緒言 / p108 (0114.jp2)
- 第2節 化学組成 / p110 (0116.jp2)
- 第3節 結晶構造 / p117 (0123.jp2)
- 1.結晶性 / p117 (0123.jp2)
- 2.結晶粒径 / p120 (0126.jp2)
- 3.格子定数 / p122 (0128.jp2)
- 第4節 メスバウワー分光法による内部構造解析 / p125 (0131.jp2)
- 第5節 飽和磁化 / p133 (0139.jp2)
- 1.成膜条件依存性 / p133 (0139.jp2)
- 2.単位胞体積依存性 / p134 (0140.jp2)
- 第6節 磁気異方性 / p138 (0144.jp2)
- 1.膜厚依存性 / p141 (0147.jp2)
- 2. N₂流量比依存性 / p145 (0151.jp2)
- 3.保磁力に及ぼす影響 / p146 (0152.jp2)
- 第7節 結言 / p153 (0159.jp2)
- 第5章 (α"+α')-Fe₁₆N₂薄膜の構造と磁性 / p157 (0163.jp2)
- 第1節 緒言 / p157 (0163.jp2)
- 第2節 結晶構造 / p159 (0165.jp2)
- 1.結晶性 / p159 (0165.jp2)
- 2.結晶粒径 / p160 (0166.jp2)
- 3.格子定数 / p168 (0174.jp2)
- 4. Nサイトの規則化の熱処理時間依存性 / p176 (0182.jp2)
- 第3節 メスバウワー分光法による内部構造解析 / p182 (0188.jp2)
- 第4節 飽和磁化 / p188 (0194.jp2)
- 1.温度依存性 / p188 (0194.jp2)
- 2. (α"+α')-Fe₁₆N₂薄膜の飽和磁化 / p191 (0197.jp2)
- 3.熱処理時間依存性 / p196 (0202.jp2)
- 4. Nサイトの規則化との相関 / p196 (0202.jp2)
- 5. α"-Fe₁₆N₂相の飽和磁化 / p199 (0205.jp2)
- 第5節 磁気異方性 / p201 (0207.jp2)
- 1. Nサイトの規則化に対する変化 / p201 (0207.jp2)
- 2.温度依存性 / p201 (0207.jp2)
- 3. c面内での磁気異方性 / p202 (0208.jp2)
- 第6節 結言 / p209 (0215.jp2)
- 第6章 結論 / p214 (0220.jp2)
- 付録 H₂添加雰囲気中で作製したFe基薄膜の構造と磁性 / p225 (0231.jp2)
- 第1節 緒言 / p225 (0231.jp2)
- 第2節 Fe-H薄膜の構造と磁性 / p226 (0232.jp2)
- 第3節 Fe-N-H薄膜の構造と磁性 / p239 (0245.jp2)
- 第4節 結言 / p253 (0259.jp2)
- 本研究に関わる研究発表 / p255 (0261.jp2)