CCDを用いたリアルタイム分光エリプソメータの開発と薄膜の性状解析への応用
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著者
書誌事項
- タイトル
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CCDを用いたリアルタイム分光エリプソメータの開発と薄膜の性状解析への応用
- 著者名
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窪田, 壮男
- 著者別名
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クボタ, タケオ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第6037号
- 学位授与年月日
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1997-03-25
注記・抄録
博士論文
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
目次
- 目次
- 第1章 緒言
- 1.1 エリプソメトリー
- 1.2 エリプソメータ
- 1.3 リアルタイム分光エリプソメータの性能比較
- 1.4 測定波長が可視域以外の分光エリプソメトリー
- 1.5 実測パラメータと光学モデルによる計算値とのフィッティングの方法
- 1.6 エリプソメトリー以外の手段との併用
- 1.7 リアルタイム分光エリプソメータを用いた研究例
- 1.8 本研究の目的
- 1.9 論文の構成
- 第1章の参考文献
- 第2章 リアルタイム分光エリプソメータの試作
- 2.1 エリプソメータ
- 2.2 CCD検出器
- 2.3 エリプソメトリー測定のタイミング
- 2.4 エリプソメトリーの測定原理
- 2.5 結論
- 第2章の参考文献
- 第3章 リアルタイム分光エリプソメータの較正
- 3.1 較正の必要性
- 3.2 較正の原理
- 3.3 較正の方法
- 3.4 較正の結果
- 3.5 結論
- 第3章の参考文献
- 第4章 リアルタイム分光エリプソメータのZrO₂薄膜のCVD過程解析への応用
- 4.1 緒言
- 4.2 実験方法
- 4.3 結果および考察
- 4.4 結論
- 第4章の参考文献
- 第5章 リアルタイム分光エリプソメータのFe₂O₃-Cr₂O₃薄膜の溶解過程解析への応用
- 5.1 緒言
- 5.2 実験方法
- 5.3 結果
- 5.4 結論
- 第5章の参考文献
- 第6章 総括
- 謝辞
