GaAs/Siの電子デバイス応用に関する研究 GaAs/Si ノ デンシ デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ

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著者

    • 藍郷, 崇 アイゴウ, タカシ

書誌事項

タイトル

GaAs/Siの電子デバイス応用に関する研究

タイトル別名

GaAs/Si ノ デンシ デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ

著者名

藍郷, 崇

著者別名

アイゴウ, タカシ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第7148号

学位授与年月日

1997-03-18

注記・抄録

博士論文

14401乙第07148号

博士(工学)

大阪大学

1997-03-18

12855

目次

  1. 目次 / p4 (0005.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 Si基板上のGaAs / p1 (0006.jp2)
  5. 1.3 本研究の目的 / p3 (0007.jp2)
  6. 第2章 MOCVDによる電子デバイス用GaAs/Siの成長 / p8 (0010.jp2)
  7. 2.1 はじめに / p8 (0010.jp2)
  8. 2.2 結晶成長 / p8 (0010.jp2)
  9. 2.3 成長条件 / p10 (0011.jp2)
  10. 2.4 Siのオートドーピングについて / p11 (0011.jp2)
  11. 2.5 まとめ / p12 (0012.jp2)
  12. 第3章 電子デバイス用GaAs/Siウェーハの評価 / p14 (0013.jp2)
  13. 3.1 はじめに / p14 (0013.jp2)
  14. 3.2 面内均一性 / p14 (0013.jp2)
  15. 3.3 リーク電流 / p14 (0013.jp2)
  16. 3.4 キャリア移動度 / p23 (0017.jp2)
  17. 3.5 表面モホロジー / p23 (0017.jp2)
  18. 3.6 GaAs/Siの熱抵抗 / p26 (0019.jp2)
  19. 3.7 まとめ / p32 (0022.jp2)
  20. 第4章 HEMT/Siのしきい値電圧分布と高周波特性評価 / p34 (0023.jp2)
  21. 4.1 はじめに / p34 (0023.jp2)
  22. 4.2 実験方法 / p34 (0023.jp2)
  23. 4.3 試作したHEMT/Siの直流特性 / p37 (0024.jp2)
  24. 4.4 HEMT/Siのしきい値電圧分布 / p37 (0024.jp2)
  25. 4.5 HEMT/Siの高周波特性 / p45 (0028.jp2)
  26. 4.6 寄生成分の影響を低減したHEMT/Siの高周波特性 / p57 (0034.jp2)
  27. 4.7 まとめ / p60 (0036.jp2)
  28. 第5章 パワーMESFET/Siの試作 / p64 (0038.jp2)
  29. 5.1 はじめに / p64 (0038.jp2)
  30. 5.2 デバイス設計 / p64 (0038.jp2)
  31. 5.3 デバイスプロセス / p68 (0040.jp2)
  32. 5.4 直流特性 / p68 (0040.jp2)
  33. 5.5 高周波特性 / p72 (0042.jp2)
  34. 5.6 まとめ / p75 (0043.jp2)
  35. 第6章 GaAs/Si電子デバイスの信頼性 / p76 (0044.jp2)
  36. 6.1 はじめに / p76 (0044.jp2)
  37. 6.2 実験方法 / p76 (0044.jp2)
  38. 6.3 実験結果 / p77 (0044.jp2)
  39. 6.4 まとめ / p89 (0050.jp2)
  40. 第7章 結論 / p90 (0051.jp2)
  41. 謝辞 / p93 (0052.jp2)
  42. 本研究に関する発表論文 / p94 (0053.jp2)
  43. 本研究に関する学会報告 / p96 (0054.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000150120
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001060974
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000314434
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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