CZ-Si単結晶育成及びウェハプロセスにおける結晶欠陥の形成と制御に関する研究

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著者

    • 宝来, 正隆 ホウライ, マサタカ

書誌事項

タイトル

CZ-Si単結晶育成及びウェハプロセスにおける結晶欠陥の形成と制御に関する研究

著者名

宝来, 正隆

著者別名

ホウライ, マサタカ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第7175号

学位授与年月日

1997-03-18

注記・抄録

博士論文

14401乙第07175号

博士(工学)

大阪大学

1997-03-18

12882

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 緒言 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 序 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 シリコン半導体デバイスの種類と不良項目 / p1 (0005.jp2)
  5. 1.3 シリコン単結晶およびウェハの製造プロセスの概要と技術課題 / p3 (0006.jp2)
  6. 1.4 本論文の構成と概要 / p7 (0008.jp2)
  7. 第1章の参考文献 / p9 (0009.jp2)
  8. 第2章 金属不純物による表面欠陥形成挙動 / p11 (0010.jp2)
  9. 2.1 序 / p11 (0010.jp2)
  10. 2.2 シリコンウェハ中の微量金属不純物 / p12 (0011.jp2)
  11. 2.3 定量汚染技術 / p19 (0014.jp2)
  12. 2.4 金属不純物の表面析出欠陥と酸化誘起積層欠陥 / p24 (0017.jp2)
  13. 2.5 金属誘起欠陥の構造 / p33 (0021.jp2)
  14. 2.6 まとめ / p46 (0028.jp2)
  15. 第2章の参考文献 / p47 (0028.jp2)
  16. 第3章 プロセス中汚染モニタリング技術とゲッタリング評価 / p50 (0030.jp2)
  17. 3.1 序 / p50 (0030.jp2)
  18. 3.2 少数キャリアーライフタイムの測定方法 / p50 (0030.jp2)
  19. 3.3 μ-PCD法による少数キャリアーライフタイムヘの影響因子 / p55 (0032.jp2)
  20. 3.4 μ-PCD法によるプロセス中の重金属モニタリング技術 / p66 (0038.jp2)
  21. 3.5 ゲッタリング評価 / p83 (0046.jp2)
  22. 3.6 まとめ / p93 (0051.jp2)
  23. 第3章の参考文献 / p96 (0053.jp2)
  24. 第4章 CZ-Si結晶結晶育成時のGrown-in欠陥の形成挙動と制御技術 / p100 (0055.jp2)
  25. 4.1 序 / p100 (0055.jp2)
  26. 4.2 CZ-Si結晶中のGrown-in欠陥の種類と分布 / p102 (0056.jp2)
  27. 4.3 赤外散乱欠陥(LSTD)の結晶育成時の形成挙動と機構 / p117 (0063.jp2)
  28. 4.4 酸化膜耐圧特性の改善 / p131 (0070.jp2)
  29. 4.5 まとめ / p138 (0074.jp2)
  30. 第4章の参考文献 / p140 (0075.jp2)
  31. 第5章 CZ-Si結晶中のOSF-ring形成挙動と機構 / p143 (0076.jp2)
  32. 5.1 序 / p143 (0076.jp2)
  33. 5.2 OSF-ring領域を含むCZ-Si結晶中でのAu拡散挙動 / p144 (0077.jp2)
  34. 5.3 OSF-ringを含むCZ-Si結晶中の欠陥生成挙動 / p152 (0081.jp2)
  35. 5.4 結晶育成時のOSF-ring形成挙動 / p163 (0086.jp2)
  36. 5.5 CZ-Si結晶中のgrown-in欠陥のタイプを決定する成長パラメーター / p176 (0093.jp2)
  37. 5.6 まとめ / p187 (0098.jp2)
  38. 第5章の参考文献 / p189 (0099.jp2)
  39. 第6章 総括 / p192 (0101.jp2)
  40. 6.1 本研究の成果 / p192 (0101.jp2)
  41. 6.2 今後の展開 / p195 (0102.jp2)
  42. 第6章の参考文献 / p197 (0103.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000150147
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001061001
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000314461
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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