極高真空から低真空にわたる広圧力域で作動する高速回転真空ポンプに関する研究

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著者

    • 井口, 昌司 イグチ, マサシ

書誌事項

タイトル

極高真空から低真空にわたる広圧力域で作動する高速回転真空ポンプに関する研究

著者名

井口, 昌司

著者別名

イグチ, マサシ

学位授与大学

秋田大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第284号

学位授与年月日

1997-03-18

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1-1 背景 / p1 (0005.jp2)
  4. 1-2 高速回転真空ポンプの作動圧力領域の拡大に関する従来の研究 / p2 (0006.jp2)
  5. 1-3 研究の目的と方法 / p3 (0007.jp2)
  6. 第2章 ターボ分子ポンプによる極高真空発生の理論的研究 / p4 (0008.jp2)
  7. 2-1 ターボ分子ポンプの到達圧力に対する従来の考え方 / p4 (0008.jp2)
  8. 2-2 ターボ分子ポンプの性能の解析 / p7 (0011.jp2)
  9. 2-3 翼車表面からの放出ガスの圧縮比に対する影響 / p17 (0021.jp2)
  10. 2-4 翼車表面からのガス放出速度の推定 / p19 (0023.jp2)
  11. 2-5 ターボ分子ポンプの到達圧力に影響を及ぼす種々のファクターについての調査 / p22 (0026.jp2)
  12. 2-6 本章における結論 / p27 (0031.jp2)
  13. 第3章 極高真空対応ターボ分子ポンプ・複合分子ポンプの試作およびその性能評価 / p28 (0032.jp2)
  14. 3-1 設計方針 / p28 (0032.jp2)
  15. 3-2 運転中のロータ温度の推定 / p29 (0033.jp2)
  16. 3-3 nの決定 / p34 (0038.jp2)
  17. 3-4 TH251Mでの到達圧力の測定 / p35 (0039.jp2)
  18. 3-5 極高真空対応複合分子ポンプ / p36 (0040.jp2)
  19. 3-6 本章における結論 / p42 (0046.jp2)
  20. 第4章 ターボ分子ポンプの初期排気時における排気性能の改善に関する基礎的研究 / p43 (0047.jp2)
  21. 4-1 ターボ分子ポンプの初期排気時における排気性能に対する従来の考え方 / p43 (0047.jp2)
  22. 4-2 ターボ分子ポンプの初期排気時における排気性能の改良に関する考察 / p43 (0047.jp2)
  23. 4-3 脱離の活性化エネルギと表面自由エネルギとの関係についての簡単な考察 / p45 (0049.jp2)
  24. 4-4 LCAコーティング / p47 (0051.jp2)
  25. 4-5 ガス放出の測定 / p49 (0053.jp2)
  26. 4-6 LCAコーティング面からの水のガス放出 / p54 (0058.jp2)
  27. 4-7 本章における結論 / p61 (0065.jp2)
  28. 第5章 溝付きスリーブによるねじ溝式真空ポンプの低真空域における性能改善 / p62 (0066.jp2)
  29. 5-1 ねじ溝式真空ポンプの低真空域における性能 / p62 (0066.jp2)
  30. 5-2 溝付きスリーブをもつねじ溝式真空ポンプ / p62 (0066.jp2)
  31. 5-3 実験 / p62 (0066.jp2)
  32. 5-4 本章における結論 / p76 (0080.jp2)
  33. 第6章 溝付きステータを持つねじ溝式真空ポンプ(ダブルねじ溝式真空ポンプ)の試作及びその性能評価 / p78 (0082.jp2)
  34. 6-1 試作ポンプの諸元 / p78 (0082.jp2)
  35. 6-2 排気性能の予測 / p81 (0085.jp2)
  36. 6-3 性能試験 / p81 (0085.jp2)
  37. 6-4 本章における結論 / p87 (0091.jp2)
  38. 第7章 結論 / p88 (0092.jp2)
  39. 引用文献 / p90 (0094.jp2)
4アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000150531
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001061378
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000314845
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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