ドライ式スクロール真空ポンプの排気特性に関する研究

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著者

    • 蘇, 宇 ソ, ウ

書誌事項

タイトル

ドライ式スクロール真空ポンプの排気特性に関する研究

著者名

蘇, 宇

著者別名

ソ, ウ

学位授与大学

秋田大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第289号

学位授与年月日

1997-03-18

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0008.jp2)
  3. 1・1 研究の背景 / p1 (0008.jp2)
  4. 1・2 論文の構成 / p2 (0009.jp2)
  5. 第2章 平行平板間流路における希薄気体の流れ / p6 (0013.jp2)
  6. 2・1 はじめに / p6 (0013.jp2)
  7. 2・2 一次結合式の作成 / p7 (0014.jp2)
  8. 2・3 本章の結言 / p14 (0021.jp2)
  9. 第3章 到達圧力についての理論解析 / p21 (0028.jp2)
  10. 3・1 はじめに / p21 (0028.jp2)
  11. 3・2 スクロール真空ポンプの動作原理および解析方針 / p21 (0028.jp2)
  12. 3・3 ポケットの体積およびすきまについての幾何学的計算 / p24 (0031.jp2)
  13. 3・4 シール部の流れについて / p29 (0036.jp2)
  14. 3・5 ポケット内の圧力分布 / p31 (0038.jp2)
  15. 3・6 計算の手順 / p32 (0039.jp2)
  16. 3・7 時定数 / p33 (0040.jp2)
  17. 3・8 到達圧力 / p34 (0041.jp2)
  18. 3・9 ポケット内平均圧力と旋回位相角の関係 / p35 (0042.jp2)
  19. 3・10 本章の結言 / p36 (0043.jp2)
  20. 第4章 実験による理論の検証 / p57 (0064.jp2)
  21. 4・1 はじめに / p57 (0064.jp2)
  22. 4・2 実験装置および実験方法 / p58 (0065.jp2)
  23. 4・3 結果と考察 / p60 (0067.jp2)
  24. 4・4 本章の結言 / p63 (0070.jp2)
  25. 第5章 排気速度の予測と実測 / p75 (0082.jp2)
  26. 5・1 はじめに / p75 (0082.jp2)
  27. 5・2 実験装置および実験方法 / p77 (0084.jp2)
  28. 5・3 結果と考察 / p78 (0085.jp2)
  29. 5・4 本章の結言 / p80 (0087.jp2)
  30. 第6章 結論 / p85 (0092.jp2)
  31. 謝辞 / (0093.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000150536
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001061383
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000314850
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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