Nb系ジョセフソン回路の高信頼化に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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Nb系ジョセフソン回路の高信頼化に関する研究
- Author
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塩田, 哲義
- Author(Another name)
-
シオタ, テツヨシ
- University
-
名古屋大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
-
乙第5242号
- Degree year
-
1997-06-04
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 はじめに / p1 (0005.jp2)
- 1.2 ジョセフソン回路の特徴 / p2 (0006.jp2)
- 1.3 本研究の背景 / p5 (0007.jp2)
- 1.4 本研究の目的 / p8 (0009.jp2)
- 1.5 本研究の概要 / p8 (0009.jp2)
- 第2章 高品質スパッタNb膜の作成 / p12 (0011.jp2)
- 2.1 はじめに / p12 (0011.jp2)
- 2.2 成膜方法と評価方法 / p12 (0011.jp2)
- 2.3 実験結果 / p14 (0012.jp2)
- 2.4 成膜装置依存性 / p24 (0017.jp2)
- 2.5 まとめ / p26 (0018.jp2)
- 第3章 Nb配線の高信頼化技術 / p28 (0019.jp2)
- 3.1 はじめに / p28 (0019.jp2)
- 3.2 熱処理による配線の特性劣化 / p28 (0019.jp2)
- 3.3 配線劣化の原因 / p32 (0021.jp2)
- 3.4 プラズマ窒化処理による酸素拡散の抑止 / p35 (0022.jp2)
- 3.5 まとめ / p54 (0032.jp2)
- 第4章 ジョセフソン接合の高信頼化技術 / p57 (0033.jp2)
- 4.1 はじめに / p57 (0033.jp2)
- 4.2 上部Nb電極表面のプラズマ窒化処理による効果 / p58 (0034.jp2)
- 4.3 AINxバリア接合 / p65 (0037.jp2)
- 4.4 接合形成後のプラズマ窒化処理 / p73 (0041.jp2)
- 4.5 まとめ / p73 (0041.jp2)
- 第5章 抵抗素子の高信頼化技術 / p76 (0043.jp2)
- 5.1 はじめに / p76 (0043.jp2)
- 5.2 Zr抵抗の作成方法とシート抵抗の測定 / p77 (0043.jp2)
- 5.3 抵抗の熱処理耐性 / p79 (0044.jp2)
- 5.4 Tiバリアによる熱処理耐性の改善 / p83 (0046.jp2)
- 5.5 ジョセフソン回路への適用性 / p87 (0048.jp2)
- 5.6 まとめ / p89 (0049.jp2)
- 第6章 回路構造における高信･高集積化技術 / p91 (0050.jp2)
- 6.1 はじめに / p91 (0050.jp2)
- 6.2 バイアス電流の電源線幅依存性 / p91 (0050.jp2)
- 6.3 電源線が発生する磁場の影響 / p95 (0052.jp2)
- 6.4 接地面下側電源線 / p98 (0054.jp2)
- 6.5 まとめ / p108 (0059.jp2)
- 第7章 結論 / p110 (0060.jp2)
- 謝辞 / p112 (0061.jp2)