2次電子検出の高効率化による高解像度走査電子顕微鏡の研究

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著者

    • 江口, 宇三郎 エグチ, ウサブロウ

書誌事項

タイトル

2次電子検出の高効率化による高解像度走査電子顕微鏡の研究

著者名

江口, 宇三郎

著者別名

エグチ, ウサブロウ

学位授与大学

山形大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第276号

学位授与年月日

1997-09-30

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p3 (0005.jp2)
  3. 1.1 本研究の背景 / p3 (0005.jp2)
  4. 1.2 本研究における関連技術 / p4 (0006.jp2)
  5. 1.3 本研究の目的と新規性 / p5 (0007.jp2)
  6. 第2章 走査電子顕微鏡の構成と動作原理 / p7 (0009.jp2)
  7. 2.1 序言 / p7 (0009.jp2)
  8. 2.2 一般的走査電子顕微鏡の構成及び原理 / p7 (0009.jp2)
  9. 2.3 本研究で改良した走査電子顕微鏡 / p35 (0037.jp2)
  10. 2.4 結言 / p39 (0041.jp2)
  11. 第3章 2次電子検出機能と動作原理 / p40 (0042.jp2)
  12. 3.1 序言 / p40 (0042.jp2)
  13. 3.2 一般的2次電子検出機構と原理 / p40 (0042.jp2)
  14. 3.3 本研究で開発した2次電子増倍機能と原理 / p43 (0045.jp2)
  15. 3.4 結言 / p62 (0064.jp2)
  16. 第4章 2次電子の運動軌跡の解析と実験 / p64 (0066.jp2)
  17. 4.1 序言 / p64 (0066.jp2)
  18. 4.2 2次電子の運動軌跡のシミュレーション / p64 (0066.jp2)
  19. 4.3 蛍光強度分布の観測と分析 / p89 (0091.jp2)
  20. 4.4 結言 / p93 (0095.jp2)
  21. 第5章 高解像度2次電子増倍機能付き走査電子顕微鏡 / p99 (0101.jp2)
  22. 5.1 序言 / p99 (0101.jp2)
  23. 5.2 輝度信号分析と比較 / p99 (0101.jp2)
  24. 5.3 結言 / p129 (0131.jp2)
  25. 第6章 高解像度2次電子増倍機能による各種電顕像の比較 / p130 (0132.jp2)
  26. 6.1 序言 / p130 (0132.jp2)
  27. 6.2 無機及び金属材料 / p130 (0132.jp2)
  28. 6.3 有機材料及び生体 / p156 (0158.jp2)
  29. 6.4 結言 / p168 (0170.jp2)
  30. 第7章 結論 / p169 (0171.jp2)
  31. 謝辞 / p171 (0173.jp2)
  32. 学会等における論文発表 / p172 (0174.jp2)
  33. 参考文献 / p173 (0175.jp2)
  34. 附録 / p176 (0178.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000151643
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001068586
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000315957
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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