高周波誘導プラズマを用いた鉄系およびチタン系材料の表面処理
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著者
書誌事項
- タイトル
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高周波誘導プラズマを用いた鉄系およびチタン系材料の表面処理
- 著者名
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佐藤, 貴康
- 著者別名
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サトウ, タカヤス
- 学位授与大学
-
東京理科大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第313号
- 学位授与年月日
-
1997-03-20
注記・抄録
博士論文
目次
- 【目次】 / (0003.jp2)
- 1章 緒論 / p1 (0007.jp2)
- 1.1 研究の背景と目的 / p1 (0007.jp2)
- 1.2 本論文の構成 / p4 (0010.jp2)
- 1.3 参考論文 / p5 (0011.jp2)
- 2章 鉄系材料の表面改質 / p6 (0012.jp2)
- 2.1 緒言 / p6 (0012.jp2)
- 2.2 実験方法 / p7 (0013.jp2)
- 2.3 結果および考察 / p11 (0017.jp2)
- 2.4 結言 / p45 (0051.jp2)
- 2.5 参考文献 / p46 (0052.jp2)
- 3章 チタン系材料の表面処理 / p47 (0053.jp2)
- 3A Ti-6Al-4V合金のプラズマ窒化 / p47 (0053.jp2)
- 3B 純チタンのプラズマ浸炭窒化 / p73 (0079.jp2)
- 3C 高周波プラズマの高密度化とその応用 / p110 (0116.jp2)
- 4章 プラズマ表面改質基板の新たな応用―ダイヤモンドCVD基板への応用― / p131 (0137.jp2)
- 4.1 緒言 / p131 (0137.jp2)
- 4.2 実験方法 / p133 (0139.jp2)
- 4.3 結果および考察 / p138 (0144.jp2)
- 4.4 結言 / p168 (0174.jp2)
- 4.5 参考文献 / p169 (0175.jp2)
- 5章 総括 / p170 (0176.jp2)
- 研究業績 / p173 (0179.jp2)
- 謝辞 / p177 (0183.jp2)
- 補遺 / A1 / (0184.jp2)
- 1.プラズマの分類とプロセッシング用プラズマの特徴 / A1 / (0184.jp2)
- 2.低圧高密度プラズマの発生メカニズム / A8 / (0191.jp2)
- 3.プラズマ窒化､プラズマ浸炭窒化で生成する鉄およびチタン化合物 / A9 / (0192.jp2)
- 4.窒素･水素プラズマの発光スペクトルについて / A12 / (0195.jp2)
- 5.基板への正､負のバイアス効果の違いについて / A15 / (0198.jp2)
- 6.オージェ電子分光分析におけるスペクトル合成法について / A16 / (0199.jp2)
- 7.窒化モデルについて / A17 / (0200.jp2)
- 8.反応ガス中への不活性ガス添加(He､Ar)の影響について / A18 / (0201.jp2)
- 9.探針法によるプラズマ診断 / A19 / (0202.jp2)
- 10.HDICPにおけるアンテナとプラズマの結合について / A23 / (0206.jp2)
- 11.HDICP中に置かれた基板に入射する粒子のフラックスの計算 / A27 / (0210.jp2)
- 12.ICPによるダイヤモンドCVD / A30 / (0213.jp2)
- 12.1 実験方法 / A30 / (0213.jp2)
- 12.2 結果および考察 / A32 / (0215.jp2)
- 12.3 結言 / A42 / (0225.jp2)
- 13.イオンアシスト効果に関する補足 / A43 / (0226.jp2)
- 14.窒化鉄(Fe₄N)の標準生成エネルギーに基づく2､3の計算 / A45 / (0228.jp2)
- 15.プラズマにおけるガス流量と入力レベルに関する簡単な考察 / A46 / (0229.jp2)
- 16.γ鉄のガス浸炭法における炭素の拡散の影響 / A47 / (0230.jp2)
- 17.参考文献 / A48 / (0231.jp2)