高周波誘導プラズマを用いた鉄系およびチタン系材料の表面処理

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著者

    • 佐藤, 貴康 サトウ, タカヤス

書誌事項

タイトル

高周波誘導プラズマを用いた鉄系およびチタン系材料の表面処理

著者名

佐藤, 貴康

著者別名

サトウ, タカヤス

学位授与大学

東京理科大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第313号

学位授与年月日

1997-03-20

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 【目次】 / (0003.jp2)
  2. 1章 緒論 / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 研究の背景と目的 / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 本論文の構成 / p4 (0010.jp2)
  5. 1.3 参考論文 / p5 (0011.jp2)
  6. 2章 鉄系材料の表面改質 / p6 (0012.jp2)
  7. 2.1 緒言 / p6 (0012.jp2)
  8. 2.2 実験方法 / p7 (0013.jp2)
  9. 2.3 結果および考察 / p11 (0017.jp2)
  10. 2.4 結言 / p45 (0051.jp2)
  11. 2.5 参考文献 / p46 (0052.jp2)
  12. 3章 チタン系材料の表面処理 / p47 (0053.jp2)
  13. 3A Ti-6Al-4V合金のプラズマ窒化 / p47 (0053.jp2)
  14. 3B 純チタンのプラズマ浸炭窒化 / p73 (0079.jp2)
  15. 3C 高周波プラズマの高密度化とその応用 / p110 (0116.jp2)
  16. 4章 プラズマ表面改質基板の新たな応用―ダイヤモンドCVD基板への応用― / p131 (0137.jp2)
  17. 4.1 緒言 / p131 (0137.jp2)
  18. 4.2 実験方法 / p133 (0139.jp2)
  19. 4.3 結果および考察 / p138 (0144.jp2)
  20. 4.4 結言 / p168 (0174.jp2)
  21. 4.5 参考文献 / p169 (0175.jp2)
  22. 5章 総括 / p170 (0176.jp2)
  23. 研究業績 / p173 (0179.jp2)
  24. 謝辞 / p177 (0183.jp2)
  25. 補遺 / A1 / (0184.jp2)
  26. 1.プラズマの分類とプロセッシング用プラズマの特徴 / A1 / (0184.jp2)
  27. 2.低圧高密度プラズマの発生メカニズム / A8 / (0191.jp2)
  28. 3.プラズマ窒化、プラズマ浸炭窒化で生成する鉄およびチタン化合物 / A9 / (0192.jp2)
  29. 4.窒素・水素プラズマの発光スペクトルについて / A12 / (0195.jp2)
  30. 5.基板への正、負のバイアス効果の違いについて / A15 / (0198.jp2)
  31. 6.オージェ電子分光分析におけるスペクトル合成法について / A16 / (0199.jp2)
  32. 7.窒化モデルについて / A17 / (0200.jp2)
  33. 8.反応ガス中への不活性ガス添加(He、Ar)の影響について / A18 / (0201.jp2)
  34. 9.探針法によるプラズマ診断 / A19 / (0202.jp2)
  35. 10.HDICPにおけるアンテナとプラズマの結合について / A23 / (0206.jp2)
  36. 11.HDICP中に置かれた基板に入射する粒子のフラックスの計算 / A27 / (0210.jp2)
  37. 12.ICPによるダイヤモンドCVD / A30 / (0213.jp2)
  38. 12.1 実験方法 / A30 / (0213.jp2)
  39. 12.2 結果および考察 / A32 / (0215.jp2)
  40. 12.3 結言 / A42 / (0225.jp2)
  41. 13.イオンアシスト効果に関する補足 / A43 / (0226.jp2)
  42. 14.窒化鉄(Fe₄N)の標準生成エネルギーに基づく2、3の計算 / A45 / (0228.jp2)
  43. 15.プラズマにおけるガス流量と入力レベルに関する簡単な考察 / A46 / (0229.jp2)
  44. 16.γ鉄のガス浸炭法における炭素の拡散の影響 / A47 / (0230.jp2)
  45. 17.参考文献 / A48 / (0231.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000151724
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001068667
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000316038
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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