ダイヤモンドのイオンビーム加工に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 清原, 修二 キヨハラ, シュウジ

書誌事項

タイトル

ダイヤモンドのイオンビーム加工に関する研究

著者名

清原, 修二

著者別名

キヨハラ, シュウジ

学位授与大学

東京理科大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第318号

学位授与年月日

1997-03-20

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0007.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0012.jp2)
  3. 1.1 イオンビーム加工について / p1 (0012.jp2)
  4. 1.2 イオンビーム加工における問題点 / p20 (0031.jp2)
  5. 1.3 ダイヤモンドの超精密加工におけるイオンビーム加工の必要性と従来の研究 / p21 (0032.jp2)
  6. 1.4 本研究の目的と研究成果の概要 / p24 (0035.jp2)
  7. 第1章の参考文献 / p27 (0038.jp2)
  8. 第2章 実験装置 / p30 (0041.jp2)
  9. 2.1 イオンビーム加工装置 / p30 (0041.jp2)
  10. 2.2 高精度段差測定器 / p40 (0051.jp2)
  11. 2.3 走査型電子顕微鏡(SEM) / p43 (0054.jp2)
  12. 2.4 原子間力顕微鏡(AFM) / p44 (0055.jp2)
  13. 2.5 反射高速電子線回折(RHEED) / p47 (0058.jp2)
  14. 第2章の参考文献 / p51 (0062.jp2)
  15. 第3章 単結晶ダイヤモンドのリアクティブイオンビーム加工特性 / p54 (0065.jp2)
  16. 3.1 序言 / p54 (0065.jp2)
  17. 3.2 実験試料および実験方法 / p55 (0066.jp2)
  18. 3.3 カウフマン型イオン源を用いた単結品ダイヤモンドの酸素イオンビーム加工 / p55 (0066.jp2)
  19. 3.4 ECR型イオン源を用いた単結晶ダイヤモンドの酸素イオンビーム加工 / p70 (0081.jp2)
  20. 3.5 カウフマン型イオン源を用いた単結晶ダイヤモンドの水素イオンビーム加工 / p84 (0095.jp2)
  21. 3.6 結言 / p94 (0105.jp2)
  22. 第3章の参考文献 / p96 (0107.jp2)
  23. 第4章 単結晶ダイヤモンドのイオンビーム援用化学加工特性 / p98 (0109.jp2)
  24. 4.1 序言 / p98 (0109.jp2)
  25. 4.2 実験試料および実験方法 / p99 (0110.jp2)
  26. 4.3 比加工速度のイオンエネルギー依存性 / p100 (0111.jp2)
  27. 4.4 比加工速度の酸素ガス分圧依存性 / p101 (0112.jp2)
  28. 4.5 加工速度のイオン電流密度依存性 / p103 (0114.jp2)
  29. 4.6 比加工速度のバイアス電圧依存性 / p105 (0116.jp2)
  30. 4.7 比加工速度の試料温度依存性 / p107 (0118.jp2)
  31. 4.8 加工物表面の表面粗さ評価 / p109 (0120.jp2)
  32. 4.9 加工物表面層の結品性評価 / p115 (0126.jp2)
  33. 4.10 結言 / p117 (0128.jp2)
  34. 第4章の参考文献 / p118 (0129.jp2)
  35. 第5章 イオンビームを用いたCVDダイヤモンド薄膜の平滑化 / p119 (0130.jp2)
  36. 5.1 序言 / p119 (0130.jp2)
  37. 5.2 CVD法によるダイヤモンドの生成 / p120 (0131.jp2)
  38. 5.3 ダイヤモンド薄膜の応用 / p126 (0137.jp2)
  39. 5.4 実験試料および実験方法 / p128 (0139.jp2)
  40. 5.5 イオンビーム加工 / p131 (0142.jp2)
  41. 5.6 エッチバック法を用いたイオンビーム加工 / p152 (0163.jp2)
  42. 5.7 結言 / p161 (0172.jp2)
  43. 第5章の参考文献 / p163 (0174.jp2)
  44. 第6章 ダイヤモンド探針の酸素イオンビーム加工 / p166 (0177.jp2)
  45. 6.1 序言 / p166 (0177.jp2)
  46. 6.2 実験試料および実験方法 / p167 (0178.jp2)
  47. 6.3 形状変化の計算機シミュレーション / p169 (0180.jp2)
  48. 6.4 実験結果および考察 / p173 (0184.jp2)
  49. 6.5 シミュレーション結果と実験結果の比較・検討 / p173 (0184.jp2)
  50. 6.5 結言 / p181 (0192.jp2)
  51. 第6章の参考文献 / p182 (0193.jp2)
  52. 第7章 集束イオンビームを用いたダイヤモンド探針の加工 / p183 (0194.jp2)
  53. 7.1 序言 / p183 (0194.jp2)
  54. 7.2 実験試料および実験方法 / p184 (0195.jp2)
  55. 7.3 形状変化の計算機シミュレーション / p186 (0197.jp2)
  56. 7.4 実験結果および考察 / p192 (0203.jp2)
  57. 7.5 シミュレーション結果と実験結果の比較・検討 / p192 (0203.jp2)
  58. 7.6 ダイヤモンド探針の形状変化の計算機シミュレーション / p195 (0206.jp2)
  59. 7.7 結言 / p198 (0209.jp2)
  60. 第7章の参考文献 / p199 (0210.jp2)
  61. 第8章 結論 / p201 (0212.jp2)
  62. 謝辞 / p204 (0215.jp2)
  63. 主論文を構成する論文 / p205 (0216.jp2)
  64. 参考論文 / p206 (0217.jp2)
  65. 一般講演・口頭発表 / p206 (0217.jp2)
4アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000151729
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001068672
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000316043
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ