能動型干渉計による形状と変形の測定
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Bibliographic Information
- Title
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能動型干渉計による形状と変形の測定
- Author
-
劉, 紀元
- Author(Another name)
-
リュウ, キゲン
- University
-
埼玉大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第200号
- Degree year
-
1997-09-24
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- Abstract / p1 (0003.jp2)
- 目次 / (0006.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
- 1.1 干渉計測とその分野 / p1 (0007.jp2)
- 1.2 光干渉計測の応用 / p9 (0011.jp2)
- 1.3 光干渉計測の最近の進歩 / p12 (0013.jp2)
- 1.4 能動型干渉計 / p14 (0014.jp2)
- 第1章の参考文献 / p18 (0016.jp2)
- 第2章 干渉縞位相の検出 / p20 (0017.jp2)
- 2.1 序 / p20 (0017.jp2)
- 2.2 空間フィルター法の基本原理 / p20 (0017.jp2)
- 2.3 空間フィルター検出器の特性 / p23 (0018.jp2)
- 2.4 まとめ / p31 (0022.jp2)
- 第3章 位相変調 / p33 (0023.jp2)
- 3.1 序 / p33 (0023.jp2)
- 3.2 ピエゾ素子による位相変調 / p33 (0023.jp2)
- 3.3 半導体レーザーの電流変調による位相変調 / p35 (0024.jp2)
- 3.4 まとめ / p51 (0032.jp2)
- 第3章の参考文献 / p52 (0033.jp2)
- 第4章 電気的フィードバック制御 / p53 (0033.jp2)
- 4.1序 / p53 (0033.jp2)
- 4.2 PID制御の原理 / (0033.jp2)
- 4.3 PID制御の特性 / p61 (0037.jp2)
- 4.4 まとめ / p63 (0038.jp2)
- 第4章の参考文献 / p65 (0039.jp2)
- 第5章 能動型干渉計の応用 / p67 (0040.jp2)
- 5.1 序 / p67 (0040.jp2)
- 5.2 能動型位相シフトTVスペックル干渉計による面内変位の測定 / p67 (0040.jp2)
- 5.3 PZTと半導体レーザーの電流変調を用いた能動型位相シフト干渉計による表面形状の測定 / p85 (0049.jp2)
- 5.4 能動型干渉計による定盤外の実時間表面形状測定 / p94 (0054.jp2)
- 5.5 まとめ / p107 (0060.jp2)
- 第5章の参考文献 / p108 (0061.jp2)
- 第6章 半導体レーザーの戻り光による干渉縞ロック / p110 (0062.jp2)
- 6.1 背景 / p110 (0062.jp2)
- 6.2 方法 / p111 (0062.jp2)
- 6.3 現象の発生条件 / p114 (0064.jp2)
- 6.4 縞のロック現象 / p119 (0066.jp2)
- 6.5 レーザー発振の状態 / p123 (0068.jp2)
- 6.6 安定性 / p125 (0069.jp2)
- 6.7 環境への耐性 / p127 (0070.jp2)
- 6.8 理論解析 / p127 (0070.jp2)
- 6.9 応用の検討 / p143 (0078.jp2)
- 6.10 まとめ / p143 (0078.jp2)
- 第6章の参考文献 / p145 (0079.jp2)
- 第7章 結論 / p148 (0081.jp2)
- 研究論文目録 / p153 (0083.jp2)
- 謝辞 / p156 (0085.jp2)
