Crystal growth of 3C-SiC on lattice-matched SiC substrates and its photoluminescence 格子整合したSiC基板上への3C-SiCの結晶成長およびそのフォトルミネセンス

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著者

    • 西野, 克志 ニシノ, カツシ

書誌事項

タイトル

Crystal growth of 3C-SiC on lattice-matched SiC substrates and its photoluminescence

タイトル別名

格子整合したSiC基板上への3C-SiCの結晶成長およびそのフォトルミネセンス

著者名

西野, 克志

著者別名

ニシノ, カツシ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第7036号

学位授与年月日

1997-11-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. Contents / p5 (0006.jp2)
  3. Abstract / p1 (0004.jp2)
  4. Acknowledgements / p3 (0005.jp2)
  5. 1 Introduction / p1 (0008.jp2)
  6. 1.1 Background / p1 (0008.jp2)
  7. 1.2 Silicon Carbide / p2 (0009.jp2)
  8. 1.3 Outline of Thesis / p11 (0013.jp2)
  9. 2 Epitaxial Growth of 3C-SiC on α-SiC Substrates / p17 (0016.jp2)
  10. 2.1 Introduction / p17 (0016.jp2)
  11. 2.2 Experiments / p21 (0018.jp2)
  12. 2.3 Epitaxial Growth on 15R-SiC Substrates / p26 (0021.jp2)
  13. 2.4 Analysis of Decrease in DPBs / p31 (0023.jp2)
  14. 2.5 Initial Stage of Growth on α-SiC Substrate / p41 (0028.jp2)
  15. 2.6 Reduction of Stacking Faults / p44 (0030.jp2)
  16. 2.7 Photoluminescence of Epilayer / p45 (0030.jp2)
  17. 2.8 Electrical Properties of Epilayer / p53 (0034.jp2)
  18. 2.9 Summary / p55 (0035.jp2)
  19. 3 Bulk Growth of 3C-SiC / p63 (0039.jp2)
  20. 3.1 Introduction / p63 (0039.jp2)
  21. 3.2 Growth System / p63 (0039.jp2)
  22. 3.3 Bulk Growth / p65 (0040.jp2)
  23. 3.4 Photoluminescence / p70 (0043.jp2)
  24. 3.5 Summary / p70 (0043.jp2)
  25. 4 Homoepitaxial Growth of 3C-SiC / p75 (0045.jp2)
  26. 4.1 Introduction / p75 (0045.jp2)
  27. 4.2 Growth on 3C-SiC Substrate / p76 (0046.jp2)
  28. 4.3 Photoluminescence / p80 (0048.jp2)
  29. 4.4 Electrical Properties / p83 (0049.jp2)
  30. 4.5 Summary / p86 (0051.jp2)
  31. 5 Photoluminescence of Grown Layer / p91 (0053.jp2)
  32. 5.1 Introduction / p91 (0053.jp2)
  33. 5.2 General PL Spectra of Epilayers / p92 (0054.jp2)
  34. 5.3 Nitrogen-Bound Exciton / p92 (0054.jp2)
  35. 5.4 Free Exciton / p95 (0055.jp2)
  36. 5.5 Defect-related Peaks / p101 (0058.jp2)
  37. 5.6 Summary / p103 (0059.jp2)
  38. 6 Conclusion / p107 (0061.jp2)
  39. 6.1 Conclusion / p107 (0061.jp2)
  40. 6.2 For Future Work / p109 (0062.jp2)
  41. A Model for Decrease in DPBs / p111 (0063.jp2)
  42. List of Publications / p115 (0065.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000152425
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001069304
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000316739
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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