Interfacial phenomena in anodic bonding of glass to metals and semiconductor ガラスと金属及び半導体との陽極接合における界面現象
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著者
書誌事項
- タイトル
-
Interfacial phenomena in anodic bonding of glass to metals and semiconductor
- タイトル別名
-
ガラスと金属及び半導体との陽極接合における界面現象
- 著者名
-
Abo Khalah Morsy Amim Morsy
- 著者別名
-
アボ ハラ モルスィ アミン モルスィ
- 学位授与大学
-
大阪大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第6104号
- 学位授与年月日
-
1997-10-31
注記・抄録
博士論文
目次
- Contents / (0003.jp2)
- Chapter1 Introduction / p1 (0005.jp2)
- 1.1 Background / p1 (0005.jp2)
- 1.2 Concluding Remarks and Scope of the Work / p19 (0014.jp2)
- Chapter2 Attainment of Intimate Contact In Anodic Bonding of Borosilicate Glass to Kovar Alloy / p23 (0016.jp2)
- 2.1 Introduction / p23 (0016.jp2)
- 2.2 Experimental Procedures / p24 (0017.jp2)
- 2.3 Experimental Results / p27 (0018.jp2)
- 2.4 Discussion / p35 (0022.jp2)
- 2.5 Conclusions / p41 (0025.jp2)
- Chapter3 Interfacial Phenomena in Anodic Bonding of Glass to Kovar alloy / p43 (0026.jp2)
- 3.1 Introduction / p43 (0026.jp2)
- 3.2 Experimental Procedures / p43 (0026.jp2)
- 3.3 Experimental Results / p44 (0027.jp2)
- 3.4 Discussion / p55 (0032.jp2)
- 3.5 Conclusions / p66 (0038.jp2)
- Chapter4 Interfacial Phenomena in Anodic bonding of Glass to Metals and Semiconductor and its influence on Bondability / p68 (0039.jp2)
- 4.1 Introduction / p68 (0039.jp2)
- 4.2 Experimental Procedure / p69 (0039.jp2)
- 4.3 Experimental Results / p69 (0039.jp2)
- 4.4 Discussion. / p81 (0045.jp2)
- 4.5 Conclusions / p89 (0049.jp2)
- Chapter5 Effect of Opposite Polarity Application on the Stability of Anodically-Bonded Joints of Borosilicate Glass to Kovar Alloy / p91 (0050.jp2)
- 5.1 Introduction / p91 (0050.jp2)
- 5.2 Experimental procedures / p92 (0051.jp2)
- 5.3 Experimental Results / p92 (0051.jp2)
- 5.4 Discussion / p102 (0056.jp2)
- 5.5 Conclusions / p109 (0059.jp2)
- Chapter6 Summary / p110 (0060.jp2)
- Acknowledgment / p113 (0061.jp2)
- Reference / p114 (0062.jp2)
- APPENDIX / p120 (0065.jp2)
- Related Publications / p121 (0065.jp2)