陰影領域回折干渉現象の解析と微細形状情報計測への応用 インエイ リョウイキ カイセツ カンショウ ゲンショウ ノ カイセキ ト ビサイ ケイジョウ ジョウホウ ケイソク ヘノ オウヨウ

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著者

    • 金井, 徳兼 カナイ, ノリカネ

書誌事項

タイトル

陰影領域回折干渉現象の解析と微細形状情報計測への応用

タイトル別名

インエイ リョウイキ カイセツ カンショウ ゲンショウ ノ カイセキ ト ビサイ ケイジョウ ジョウホウ ケイソク ヘノ オウヨウ

著者名

金井, 徳兼

著者別名

カナイ, ノリカネ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第7272号

学位授与年月日

1997-07-07

注記・抄録

博士論文

14401乙第07272号

博士(工学)

大阪大学

1997-07-07

13354

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1-1 研究の背景と課題 / p1 (0005.jp2)
  4. 1-2 研究の目的と意義 / p4 (0007.jp2)
  5. 1-3 本論文の構成と各章の概要 / p5 (0007.jp2)
  6. 文献 / p6 (0008.jp2)
  7. 第2章 基本原理 / p8 (0009.jp2)
  8. 2-1 はじめに / p8 (0009.jp2)
  9. 2-2 境界回折波の回折干渉 / p8 (0009.jp2)
  10. 2-3 2光束干渉と空間コヒーレンス / p17 (0013.jp2)
  11. 2-4 まとめ / p24 (0017.jp2)
  12. 文献 / p25 (0017.jp2)
  13. 第3章 陰影領域回折像と境界回折波 / p26 (0018.jp2)
  14. 3-1 はじめに / p26 (0018.jp2)
  15. 3-2 境界回折波の相互干渉 / p26 (0018.jp2)
  16. 3-3 陰影領域回折像の観測 / p27 (0018.jp2)
  17. 3-4 矩形の角による境界回折波の干渉 / p32 (0021.jp2)
  18. 3-5 楔頂点からの境界回折波 / p37 (0023.jp2)
  19. 3-6 まとめ / p50 (0030.jp2)
  20. 文献 / p52 (0031.jp2)
  21. 第4章 陰影領域回折像による物体端の仕上げ評価法 / p53 (0031.jp2)
  22. 4-1 はじめに / p53 (0031.jp2)
  23. 4-2 半無限直線端の仕上げ評価 / p54 (0032.jp2)
  24. 4-3 楔の頂点の仕上げ評価 / p63 (0036.jp2)
  25. 4-4 本計測法と従来の計測法との比較考察 / p71 (0040.jp2)
  26. 4-5 まとめ / p72 (0041.jp2)
  27. 文献 / p74 (0042.jp2)
  28. 第5章 陰影領域回折像による微粒子サイズ簡易計測への応用 / p75 (0042.jp2)
  29. 5-1 はじめに / p75 (0042.jp2)
  30. 5-2 実験の発端 / p75 (0042.jp2)
  31. 5-3 微粒子回折像観測時の直接光の影響の除去について / p77 (0043.jp2)
  32. 5-4 球形微粒子のサイズ計測 / p80 (0045.jp2)
  33. 5-5 実験結果の考察 / p83 (0046.jp2)
  34. 5-6 本計測法と他の微細粒子計測法との比較考察 / p83 (0046.jp2)
  35. 5-7 まとめ / p86 (0048.jp2)
  36. 文献 / p87 (0048.jp2)
  37. 第6章 楔陰影領域回折像による空間コヒーレンス計測 / p88 (0049.jp2)
  38. 6-1 はじめに / p88 (0049.jp2)
  39. 6-2 楔境界と2光束干渉空間コヒーレンス計測との対応関係 / p88 (0049.jp2)
  40. 6-3 楔陰影領域回折像による擬似熱的光の空間コヒーレンス計測 / p89 (0049.jp2)
  41. 6-4 楔陰影領域回折像による空間コヒーレンスの伝搬特性の観測 / p93 (0051.jp2)
  42. 6-5 考察 / p95 (0052.jp2)
  43. 6-6 従来の空間コヒーレンス計測法と本計測法との比較考察 / p104 (0057.jp2)
  44. 6-7 陰影領域回折像位相変化による微細物体境界端幅検出 / p105 (0057.jp2)
  45. 6-8 まとめ / p107 (0058.jp2)
  46. 文献 / p109 (0059.jp2)
  47. 第7章 総括 / p110 (0060.jp2)
  48. 7-1 結論 / p111 (0060.jp2)
  49. 7-2 今後の課題 / p114 (0062.jp2)
  50. 謝辞 / p115 (0062.jp2)
  51. 著者発表論文 / p116 (0063.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153420
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001087473
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000317734
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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