マイクロマシニング技術による微小光機構デバイスの開発に関する研究

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著者

    • 上西, 祐司 ウエニシ, ユウジ

書誌事項

タイトル

マイクロマシニング技術による微小光機構デバイスの開発に関する研究

著者名

上西, 祐司

著者別名

ウエニシ, ユウジ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第7297号

学位授与年月日

1997-08-04

注記・抄録

博士論文

14401乙第07297号

博士(工学)

大阪大学

1997-08-04

13380

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 背景 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 マイクロマシンと光技術 / p2 (0006.jp2)
  5. 1.3 本研究の目的と論文の構成 / p7 (0008.jp2)
  6. 参考文献 / p9 (0009.jp2)
  7. 第2章 近接外部共振器半導体レーザー(SEC-LD) / p12 (0011.jp2)
  8. 2.1 緒言 / p12 (0011.jp2)
  9. 2.2 近接外部共振器の等価反射率 / p13 (0011.jp2)
  10. 2.3 SEC-LDの光出力 / p17 (0013.jp2)
  11. 2.4 SEC-LDの発振波長 / p21 (0015.jp2)
  12. 2.5 結言 / p34 (0022.jp2)
  13. 参考文献 / p35 (0022.jp2)
  14. 第3章 半導体レーザー基板の微細加工技術 / p37 (0023.jp2)
  15. 3.1 緒言 / p37 (0023.jp2)
  16. 3.2 一枚グリッド型イオンビームエッチング装置による低損傷エッチング / p38 (0024.jp2)
  17. 3.3 ネオンガスによる低損傷エッチング / p43 (0026.jp2)
  18. 3.4 反応性ガスによるLD基板のエッチング / p48 (0029.jp2)
  19. 3.5 結言 / p52 (0031.jp2)
  20. 参考文献 / p53 (0031.jp2)
  21. 第4章 テーパーリッヂ導波路集積半導体レーザーとその応用 / p55 (0032.jp2)
  22. 4.1 緒言 / p55 (0032.jp2)
  23. 4.2 テーパーリッヂ導波路集積半導体レーザー(TW-LD) / p56 (0033.jp2)
  24. 4.3 近接型光反射センサー / p59 (0034.jp2)
  25. 4.4 マイクロ光ヘッドへの応用 / p63 (0036.jp2)
  26. 4.5 結言 / p66 (0038.jp2)
  27. 参考文献 / p66 (0038.jp2)
  28. 第5章 シリコンマイクロマシニングと微小光機構デバイス / p68 (0039.jp2)
  29. 5.1 緒言 / p68 (0039.jp2)
  30. 5.2 KOH溶液によるSi(110)基板の異方性エッチング / p68 (0039.jp2)
  31. 5.3 フリースペース用Si微小光学素子 / p73 (0041.jp2)
  32. 5.4 静電駆動Siマイクロミラー / p77 (0043.jp2)
  33. 5.5 Siマイクロミラーを外部鏡に持つ波長制御レーザー / p85 (0047.jp2)
  34. 5.6 結言 / p87 (0048.jp2)
  35. 参考文献 / p88 (0049.jp2)
  36. 第6章 ニッケル表面マイクロマシニングと微小光機構デバイス / p89 (0049.jp2)
  37. 6.1 緒言 / p89 (0049.jp2)
  38. 6.2 Ni表面マイクロマシニング / p90 (0050.jp2)
  39. 6.3 Niマイクロミラー / p92 (0051.jp2)
  40. 6.4 Niマイクロミラー集積波長制御半導体レーザー / p106 (0058.jp2)
  41. 6.5 結言 / p109 (0059.jp2)
  42. 参考文献 / p110 (0060.jp2)
  43. 第7章 GaAs系マイクロマシニング技術と微小光機構デバイス / p112 (0061.jp2)
  44. 7.1 緒言 / p112 (0061.jp2)
  45. 7.2 AlGaAs/GaAsマイクロマシニング / p113 (0061.jp2)
  46. 7.3 AlGaAs材料の機械特性 / p117 (0063.jp2)
  47. 7.4 レーザー集積光振動子センサー / p121 (0065.jp2)
  48. 7.5 結言 / p128 (0069.jp2)
  49. 参考文献 / p128 (0069.jp2)
  50. 第8章 総括 / p130 (0070.jp2)
  51. 謝辞 / p134 (0072.jp2)
  52. 本研究に関する発表論文等 / p135 (0072.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153445
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001087497
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000317759
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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