Functional thin film deposition by atmospheric pressure cold plasma 大気圧低温プラズマによる機能性薄膜の堆積に関する研究

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著者

    • 河, 賢権 ハー, ヒョンクン

書誌事項

タイトル

Functional thin film deposition by atmospheric pressure cold plasma

タイトル別名

大気圧低温プラズマによる機能性薄膜の堆積に関する研究

著者名

河, 賢権

著者別名

ハー, ヒョンクン

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第3361号

学位授与年月日

1996-09-30

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. Contents / p1 (0005.jp2)
  3. Chapter1.General Introduction / p1 (0007.jp2)
  4. 1-1 Plasma / p1 (0007.jp2)
  5. 1-2 The Nature of Plasma / p2 (0008.jp2)
  6. 1-3 Background of This Work / p9 (0011.jp2)
  7. 1-4 Purpose and Significance of This Thesis / p10 (0012.jp2)
  8. 1-5 Outline of This Thesis / p11 (0012.jp2)
  9. References / p14 (0014.jp2)
  10. Chapter2.Generation of Atmospheric Pressure Cold Plasma / p19 (0016.jp2)
  11. Summary / p19 (0016.jp2)
  12. 2-1.Introduction / p20 (0017.jp2)
  13. 2-2.Cold Plasma Torch Generators / p21 (0017.jp2)
  14. 2-3.Electrical Equivalent Circuit / p22 (0018.jp2)
  15. 2-4.Working Principle / p24 (0019.jp2)
  16. 2-5.Generation of Reactive Plasma / p32 (0023.jp2)
  17. 2-6.Conclusion / p32 (0023.jp2)
  18. References / p34 (0024.jp2)
  19. Chapter3.Diagnostics of Atmospheric Pressure Cold Plasma / p46 (0031.jp2)
  20. Summary / p46 (0031.jp2)
  21. 3-1.Introduction / p47 (0031.jp2)
  22. 3-2.Experimental / p48 (0032.jp2)
  23. 3-3.Results and Discussion / p50 (0033.jp2)
  24. 3-4 Conclusion / p55 (0035.jp2)
  25. References / p56 (0036.jp2)
  26. Chapter4.Plasma Chemical Vapor Deposition of SiO₂ on Air-Exposed Surfaces / p71 (0043.jp2)
  27. Summary / p71 (0043.jp2)
  28. 4-1.Introduction / p72 (0044.jp2)
  29. 4-2.Experimental / p73 (0044.jp2)
  30. 4-3 Results and Discussion / p74 (0045.jp2)
  31. 4-4.Conclusion / p78 (0047.jp2)
  32. References / p80 (0048.jp2)
  33. Chapter5.Highly Dielectric Amorphous TiO₂ Films Prepared in Air by Plasma Chemical Vapor Deposition / p91 (0053.jp2)
  34. Summary / p91 (0053.jp2)
  35. 5-1.Introduction / p92 (0054.jp2)
  36. 5-2.Experimental / p93 (0054.jp2)
  37. 5-3.Results and discussion / p94 (0055.jp2)
  38. 5-4.Conclusion / p99 (0057.jp2)
  39. References / p100 (0058.jp2)
  40. Chapter6.Sputter-Deposition of Metal Thin Films on Air-Exposed Material Surface s / p111 (0063.jp2)
  41. Summary / p111 (0063.jp2)
  42. 6-1.Introduction / p112 (0064.jp2)
  43. 6-2.Experimental / p113 (0064.jp2)
  44. 6-3.Results and Discussion / p113 (0064.jp2)
  45. 6-4.Conclusion / p120 (0068.jp2)
  46. Reference / p121 (0068.jp2)
  47. Chapter7.Further Possibilities of this Cold Plasma Torch / p137 (0076.jp2)
  48. 7-1.Introduction / p137 (0076.jp2)
  49. 7-2.Possibility of New Industrial Applications / p138 (0077.jp2)
  50. 7-3.Possibility of Environmental Applications / p146 (0081.jp2)
  51. 7-4.Conclusion / p149 (0082.jp2)
  52. Reference / p150 (0083.jp2)
  53. Chapter8.General Conclusions / p154 (0085.jp2)
  54. Acknowledgments / (0086.jp2)
  55. Publication List / p1 (0087.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153563
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001087593
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000317877
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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