気相法ダイヤモンドの核発生および成長過程に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
気相法ダイヤモンドの核発生および成長過程に関する研究
- Author
-
喬, 辛
- Author(Another name)
-
キョウ, シン
- University
-
東京工業大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第3421号
- Degree year
-
1997-03-26
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 論文目録 / (0002.jp2)
- 目次 / (0004.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
- 1-1 本研究の背景 / p1 (0006.jp2)
- 1-2 本研究の目的 / p7 (0009.jp2)
- 1-3 既往の研究 / p9 (0010.jp2)
- 1-4 本研究の構成 / p16 (0014.jp2)
- 第1章の参考文献及び図､表 / p18 (0015.jp2)
- 第2章 CVDダイヤモンド合成装置及び実験方法 / p25 (0020.jp2)
- 2-1 気相法ダイヤモンド合成装置の概略 / p25 (0020.jp2)
- 2-2 本研究に使用されたマイクロ波プラズマCVD装置 / p32 (0024.jp2)
- 2-3 基板温度の測定 / p35 (0025.jp2)
- 第2章の参考文献及び図､表 / p37 (0026.jp2)
- 第3章 活性種輸送法によるアルミナ基板へのダイヤモンド薄膜の合成 / p48 (0037.jp2)
- 3-1 緒言 / p48 (0037.jp2)
- 3-2 実験方法 / p49 (0038.jp2)
- 3-3 実験結果 / p51 (0039.jp2)
- 3-4 考察 / p55 (0041.jp2)
- 3-5 結言 / p61 (0044.jp2)
- 第3章の参考文献及び本章の図､表 / p62 (0044.jp2)
- 第4章 活性種輸送法によるSi､c-BN基板へのダイヤモンド合成 / p76 (0058.jp2)
- 4-1 結言 / p76 (0058.jp2)
- 4-2 実験方法 / p78 (0059.jp2)
- 4-3 実験結果及び考察 / p80 (0060.jp2)
- 4-4 結言 / p85 (0063.jp2)
- 第4章の参考文献及び本章の図､表 / p87 (0064.jp2)
- 第5章 Ni基板上の炭素析出過程の熱サイクルによる影響 / p99 (0075.jp2)
- 5-1 緖言 / p99 (0075.jp2)
- 5-2 実験方法 / p101 (0076.jp2)
- 5-3 実験結果 / p104 (0078.jp2)
- 5-4 考察 / p109 (0080.jp2)
- 5-5 結言 / p114 (0083.jp2)
- 第5章の参考文献及び本章の図､表 / p116 (0084.jp2)
- 第6章 二段階合成プロセスによるNi基板へのダイヤモンド合成 / p136 (0103.jp2)
- 6-1 緒言 / p136 (0103.jp2)
- 6-2 実験方法 / p138 (0104.jp2)
- 6-3 実験結果及び考察 / p141 (0106.jp2)
- 6-5 結言 / p146 (0108.jp2)
- 第6章の参考文献及び本章の図､表 / p148 (0109.jp2)
- 第7章 総括 / p162 (0122.jp2)