高電圧極短パルスプラズマとその化学反応制御への応用に関する研究

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著者

    • 安田, 真一 ヤスダ, シンイチ

書誌事項

タイトル

高電圧極短パルスプラズマとその化学反応制御への応用に関する研究

著者名

安田, 真一

著者別名

ヤスダ, シンイチ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第3432号

学位授与年月日

1997-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 1章 緒論 / (0011.jp2)
  3. 1-1 本研究の背景 / p1 (0012.jp2)
  4. 1-2 本研究の目的 / p13 (0024.jp2)
  5. 1-3 本論文の構成 / p13 (0024.jp2)
  6. 1章の参考文献 / p17 (0028.jp2)
  7. 2章 高電圧極短パルスプラズマの基本的特性 / (0030.jp2)
  8. 2-1 はじめに / p19 (0031.jp2)
  9. 2-2 実験装置 / p21 (0033.jp2)
  10. 2-3 実験条件と実験方法 / p27 (0039.jp2)
  11. 2-4 基本持性 / p29 (0041.jp2)
  12. 2-5 高電圧極短パルスプラズマ空間構造に対する検討 / p52 (0064.jp2)
  13. 2-6 まとめ / p98 (0110.jp2)
  14. 2章の参考文献 / p99 (0111.jp2)
  15. 3章 高電圧極短パルスプラズマ構造形成過程の理論解析 / (0113.jp2)
  16. 3-1 はじめに / p101 (0114.jp2)
  17. 3-2 解析モデルと解析方法 / p105 (0118.jp2)
  18. 3-3 解析結果および考察 / p138 (0151.jp2)
  19. 3-4 実験結果との比較および検討 / p180 (0193.jp2)
  20. 3-5 まとめ / p188 (0201.jp2)
  21. 3章の参考文献 / p189 (0202.jp2)
  22. 4章 高電圧極短パルスプラズマのCVD核発生プロセス制御への適用 / (0205.jp2)
  23. 4-1 はじめに / p192 (0206.jp2)
  24. 4-2 実験装置 / p199 (0213.jp2)
  25. 4-3 実験方法および実験条件 / p201 (0215.jp2)
  26. 4-4 実験結果および考察 / p207 (0221.jp2)
  27. 4-5 核発生制御メカニズムの検討 / p227 (0241.jp2)
  28. 4-6 まとめ / p229 (0243.jp2)
  29. 4章の参考文献 / p230 (0244.jp2)
  30. 5章 結論 / p231 (0245.jp2)
  31. 付録1 運動量保存式とエネルギー保存式の簡略化 / p235 (0251.jp2)
  32. 付録2 mと[数式]の算出 / p238 (0254.jp2)
  33. 付録3 荷電粒子による光の放出と吸収および電極からの熱輻射について / p240 (0256.jp2)
  34. 謝辞 / p243 (0259.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153634
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001092654
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000317948
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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