重希ガス混合スパッタ法により作製したBaフェライト膜の構造と磁気特性に関する研究

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著者

    • 野間, 賢二 ノマ, ケンジ

書誌事項

タイトル

重希ガス混合スパッタ法により作製したBaフェライト膜の構造と磁気特性に関する研究

著者名

野間, 賢二

著者別名

ノマ, ケンジ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第3456号

学位授与年月日

1997-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. 〈目次〉 / p2 (0004.jp2)
  3. 1 緒論 / p5 (0007.jp2)
  4. 2 フェライト・スパッタ膜と高密度磁気記録 / p8 (0010.jp2)
  5. 2-1 はじめに / p8 (0010.jp2)
  6. 2-2 スパッタ法 / p8 (0010.jp2)
  7. 2-3 Baフェライト / p14 (0016.jp2)
  8. 2-4 磁気記録の高密度化と媒体 / p19 (0021.jp2)
  9. 2-5 ミリ波デバイス用フェライト材料 / p27 (0029.jp2)
  10. 2-6 まとめ / p28 (0030.jp2)
  11. 3 希ガス混合スパッタ法 / p29 (0031.jp2)
  12. 3-1 はじめに / p29 (0031.jp2)
  13. 3-2 Baフェライト膜のスパッタ形成の諸問題 / p30 (0032.jp2)
  14. 3-3 Baフェライト膜の希ガス混合スパッタ / p33 (0035.jp2)
  15. 3-4 まとめ / p43 (0045.jp2)
  16. 4 Langmiur-probe法による混合ガスプラズマの診断 / p44 (0046.jp2)
  17. 4-1 はじめに / p44 (0046.jp2)
  18. 4-2 Ar-Xe-O₂混合ガス / p46 (0048.jp2)
  19. 4-3 Kr-Xe-O₂混合ガス / p56 (0058.jp2)
  20. 4-4 まとめ / p63 (0065.jp2)
  21. 5 Monte-Carlo法によるスパッタ粒子の輸送現象の解析 / p64 (0066.jp2)
  22. 5-1 はじめに / p64 (0066.jp2)
  23. 5-2 Monte-Carloシミュレーション / p65 (0067.jp2)
  24. 5-3 Ar-Xe-O₂混合ガス / p66 (0068.jp2)
  25. 5-4 Kr-Xe-O₂混合ガス / p76 (0078.jp2)
  26. 5-5 2極スパッタ法の場合 / p80 (0082.jp2)
  27. 5-6 まとめ / p82 (0084.jp2)
  28. 6 垂直磁気記録媒体用Baフェライト膜のスパッタ作製 / p83 (0085.jp2)
  29. 6-1 はじめに / p83 (0085.jp2)
  30. 6-2 膜試料の作製法と評価法 / p84 (0086.jp2)
  31. 6-3 Baフェライト膜の作製と評価 / p91 (0093.jp2)
  32. 6-4 大飽和磁化に関する考察 / p155 (0157.jp2)
  33. 6-5 まとめ / p170 (0172.jp2)
  34. 7 Baフェライト/ZnOの2層膜の応力 / p171 (0173.jp2)
  35. 7-1 はじめに / p171 (0173.jp2)
  36. 7-2 溶融石英基板上への膜作製 / p172 (0174.jp2)
  37. 7-3 応力の膜作製条件依存性 / p175 (0177.jp2)
  38. 7-4 まとめ / p188 (0190.jp2)
  39. 8 将来展望 / p189 (0191.jp2)
  40. 9 結論 / p191 (0193.jp2)
  41. 謝辞 / p193 (0195.jp2)
  42. 付録 / p195 (0197.jp2)
  43. 本研究に関する発表論文 / p204 (0206.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153658
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001092673
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000317972
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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