重希ガス混合スパッタ法により作製したBaフェライト膜の構造と磁気特性に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
重希ガス混合スパッタ法により作製したBaフェライト膜の構造と磁気特性に関する研究
- Author
-
野間, 賢二
- Author(Another name)
-
ノマ, ケンジ
- University
-
東京工業大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第3456号
- Degree year
-
1997-03-26
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 論文目録 / (0001.jp2)
- 〈目次〉 / p2 (0004.jp2)
- 1 緒論 / p5 (0007.jp2)
- 2 フェライト･スパッタ膜と高密度磁気記録 / p8 (0010.jp2)
- 2-1 はじめに / p8 (0010.jp2)
- 2-2 スパッタ法 / p8 (0010.jp2)
- 2-3 Baフェライト / p14 (0016.jp2)
- 2-4 磁気記録の高密度化と媒体 / p19 (0021.jp2)
- 2-5 ミリ波デバイス用フェライト材料 / p27 (0029.jp2)
- 2-6 まとめ / p28 (0030.jp2)
- 3 希ガス混合スパッタ法 / p29 (0031.jp2)
- 3-1 はじめに / p29 (0031.jp2)
- 3-2 Baフェライト膜のスパッタ形成の諸問題 / p30 (0032.jp2)
- 3-3 Baフェライト膜の希ガス混合スパッタ / p33 (0035.jp2)
- 3-4 まとめ / p43 (0045.jp2)
- 4 Langmiur-probe法による混合ガスプラズマの診断 / p44 (0046.jp2)
- 4-1 はじめに / p44 (0046.jp2)
- 4-2 Ar-Xe-O₂混合ガス / p46 (0048.jp2)
- 4-3 Kr-Xe-O₂混合ガス / p56 (0058.jp2)
- 4-4 まとめ / p63 (0065.jp2)
- 5 Monte-Carlo法によるスパッタ粒子の輸送現象の解析 / p64 (0066.jp2)
- 5-1 はじめに / p64 (0066.jp2)
- 5-2 Monte-Carloシミュレーション / p65 (0067.jp2)
- 5-3 Ar-Xe-O₂混合ガス / p66 (0068.jp2)
- 5-4 Kr-Xe-O₂混合ガス / p76 (0078.jp2)
- 5-5 2極スパッタ法の場合 / p80 (0082.jp2)
- 5-6 まとめ / p82 (0084.jp2)
- 6 垂直磁気記録媒体用Baフェライト膜のスパッタ作製 / p83 (0085.jp2)
- 6-1 はじめに / p83 (0085.jp2)
- 6-2 膜試料の作製法と評価法 / p84 (0086.jp2)
- 6-3 Baフェライト膜の作製と評価 / p91 (0093.jp2)
- 6-4 大飽和磁化に関する考察 / p155 (0157.jp2)
- 6-5 まとめ / p170 (0172.jp2)
- 7 Baフェライト/ZnOの2層膜の応力 / p171 (0173.jp2)
- 7-1 はじめに / p171 (0173.jp2)
- 7-2 溶融石英基板上への膜作製 / p172 (0174.jp2)
- 7-3 応力の膜作製条件依存性 / p175 (0177.jp2)
- 7-4 まとめ / p188 (0190.jp2)
- 8 将来展望 / p189 (0191.jp2)
- 9 結論 / p191 (0193.jp2)
- 謝辞 / p193 (0195.jp2)
- 付録 / p195 (0197.jp2)
- 本研究に関する発表論文 / p204 (0206.jp2)