Study of hetero thin-film-transistor ヘテロトランジスタに関する研究

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著者

    • 崔, 光秀 チョイ, カンス

書誌事項

タイトル

Study of hetero thin-film-transistor

タイトル別名

ヘテロトランジスタに関する研究

著者名

崔, 光秀

著者別名

チョイ, カンス

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第3458号

学位授与年月日

1997-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. Contents / (0004.jp2)
  3. 1.Introduction / p1 (0006.jp2)
  4. 1.1 Introduction / p2 (0007.jp2)
  5. 1.2 Liquid-Crystal Display / p3 (0008.jp2)
  6. 1.3 Purpose of this Study / p15 (0020.jp2)
  7. 1.4 Configuration of this Thesis / p16 (0021.jp2)
  8. 2.Proposal of a Semi-Insulating Polysilicon Thin-Film Transistors / p23 (0028.jp2)
  9. 2.1 Introduction / p24 (0029.jp2)
  10. 2.2 Proposal of a new TFT / p26 (0031.jp2)
  11. 2.3 Features of SIPOS Film / p31 (0036.jp2)
  12. 2.4 Summary / p35 (0040.jp2)
  13. 3.Formation and Evaluation of Non-Stoichiometric Silicon-Oxide by Gas Immersion / p40 (0045.jp2)
  14. 3.1 Introduction / p41 (0046.jp2)
  15. 3.2 Experimental Set-Up / p41 (0046.jp2)
  16. 3.3 Properties of SIPOS Film / p52 (0057.jp2)
  17. 3.4 Characteristics of a SIPOS-TFT / p54 (0059.jp2)
  18. 3.5 Summary / p60 (0065.jp2)
  19. 4.Crystallization and Evaluation of Non-Stoichiometric Silicon-Carbon Films / p63 (0068.jp2)
  20. 4.1 Introduction / p64 (0069.jp2)
  21. 4.2 Fabrication of an Initial [化学式] Film / p66 (0071.jp2)
  22. 4.3 Properties of an Initial [化学式] / p67 (0072.jp2)
  23. 4.4 Properties of a Crystallized Film / p73 (0078.jp2)
  24. 4.5 C-V characteristics of Crystallized Film / p79 (0084.jp2)
  25. 4.6 Fabrication and Characteristics of Devices / p81 (0086.jp2)
  26. 4.7 Characteristics of n⁺ [化学式] for Electrode of TFT / p87 (0092.jp2)
  27. 4.8 Summary / p92 (0097.jp2)
  28. 5.Poly-Si/[化学式] Hetero Thin-Film Transistor / p96 (0101.jp2)
  29. 5.1 Introduction / p96 (0101.jp2)
  30. 5.2 Characteristics of a Stacked Layer of Poly-Si and [化学式] / p100 (0105.jp2)
  31. 5.3 Hetero Thin-Film-Transistor / p112 (0117.jp2)
  32. 5.4 Summary / p127 (0132.jp2)
  33. 6.Conclusion / p130 (0135.jp2)
  34. Acknowledgments / p132 (0137.jp2)
  35. List of Publications / p134 (0139.jp2)
  36. Appendix / p137 (0142.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153660
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001092675
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000317974
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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