Filmed Mass Transfer (FMT) イメージング技術とその電子産業技術への応用に関する研究

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著者

    • 篠崎, 文明 シノザキ, フミアキ

書誌事項

タイトル

Filmed Mass Transfer (FMT) イメージング技術とその電子産業技術への応用に関する研究

著者名

篠崎, 文明

著者別名

シノザキ, フミアキ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第2901号

学位授与年月日

1996-04-30

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / (0004.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.1.研究の技術的背景 / p1 (0006.jp2)
  5. 1.2.研究の目的と意義 / p3 (0008.jp2)
  6. 第2章 カラープルーフ作製システムにおけるFMTイメージング技術とその電子産業への応用の接点 / p6 (0011.jp2)
  7. 2.1.緒言 / p6 (0011.jp2)
  8. 2.2.カラープルーフ作製システムにおけるFMTイメージング技術の概容 / p7 (0012.jp2)
  9. 2.3.クッション効果を利用した重層塗膜の層間剥離による薄膜転写技術の開発 / p14 (0019.jp2)
  10. 2.4.FMTイメージング技術とカラーLCD生産工程への応用の接点 / p26 (0031.jp2)
  11. 参考文献 / p31 (0036.jp2)
  12. 第3章 FMTイメージング技術の液晶ディスプレー用カラーフィルター作製への応用 / p32 (0037.jp2)
  13. 3.1.技術的背景 / p32 (0037.jp2)
  14. 3.2.重層感材の層構成と各層の役割 / p32 (0037.jp2)
  15. 3.3.重層感材の作製法 / p35 (0040.jp2)
  16. 3.4.カラーフィルター作成プロセス / p37 (0042.jp2)
  17. 3.5.感光層の凹凸表面への転写機構 / p42 (0047.jp2)
  18. 3.6.システムの特長 / p46 (0051.jp2)
  19. 3.7.その他の性能 / p60 (0065.jp2)
  20. 3.8.まとめ / p60 (0065.jp2)
  21. 参考文献 / p67 (0072.jp2)
  22. 第4章 FMTイメージング技術のマイクロリソグラフィーへの応用 / p68 (0073.jp2)
  23. 4.1.技術的背景 / p68 (0073.jp2)
  24. 4.2.感材の層構成と作製法 / p74 (0079.jp2)
  25. 4.3.画像形成プロセス / p74 (0079.jp2)
  26. 4.4.転写法により形成されたレジストの解像性と表面凹凸追従性 / p77 (0082.jp2)
  27. 4.5.転写機構 / p79 (0084.jp2)
  28. 4.6.まとめ / p87 (0092.jp2)
  29. 参考文献 / p88 (0093.jp2)
  30. 第5章 FMTイメージング技術の金属パターン転写システムへの応用 / p89 (0094.jp2)
  31. 5.1.技術的背景と研究の目的 / p89 (0094.jp2)
  32. 5.2.金属パターン形成プロセス / p91 (0096.jp2)
  33. 5.3.金属パターン形成結果 / p94 (0099.jp2)
  34. 5.4.黒色銅形成のメカニズム / p96 (0101.jp2)
  35. 5.5.電解メッキ膜部の剥離メカニズム / p101 (0106.jp2)
  36. 5.6.まとめ / p105 (0110.jp2)
  37. 参考文献 / p106 (0111.jp2)
  38. 第6章 総括 / p107 (0112.jp2)
  39. 第7章 FMTイメージング技術の今後の展開 / p109 (0114.jp2)
  40. 謝辞 / p113 (0118.jp2)
  41. 発表論文ならびに受賞 / p114 (0119.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153771
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001092785
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000318085
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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