ダイヤモンド合成用アーク放電プラズマジェットCVD装置に関する研究
Access this Article
Search this Article
Author
Bibliographic Information
- Title
-
ダイヤモンド合成用アーク放電プラズマジェットCVD装置に関する研究
- Author
-
平田, 敦
- Author(Another name)
-
ヒラタ, アツシ
- University
-
東京工業大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
乙第3030号
- Degree year
-
1997-03-31
Note and Description
博士論文
identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:91651359
identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:99000697
Table of Contents
- 論文目録 / (0001.jp2)
- 目次 / p1 (0004.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
- 1.1 はじめに / p2 (0007.jp2)
- 1.2 ダイヤモンド気相合成技術の現状 / p3 (0008.jp2)
- 1.3 アーク放電プラズマジェットCVD法について / p14 (0019.jp2)
- 1.4 本研究の目的 / p17 (0022.jp2)
- 1.5 本論文の構成 / p19 (0024.jp2)
- 参考文献 / p22 (0027.jp2)
- 第2章 1陰極-3陽極アーク放電プラズマジェットCVD装置の試作 / p25 (0030.jp2)
- 2.1 はじめに / p26 (0031.jp2)
- 2.2 CVD装置の設計および仕様 / p26 (0031.jp2)
- 2.3 CVD装置の放電特性 / p34 (0039.jp2)
- 2.4 メタンおよび水素ガスの供給法の選定 / p36 (0041.jp2)
- 2.5 まとめ / p42 (0047.jp2)
- 参考文献 / p42 (0047.jp2)
- 第3章 プラズマジェットおよびダイヤモンド合成に及ぼす電極位置の影響 / p43 (0048.jp2)
- 3.1 はじめに / p44 (0049.jp2)
- 3.2 プラズマジェットに及ぼす電極位置の影響 / p44 (0049.jp2)
- 3.3 ダイヤモンド合成に及ぼす電極位置の影響 / p53 (0058.jp2)
- 3.4 まとめ / p64 (0069.jp2)
- 参考文献 / p64 (0069.jp2)
- 第4章 ダイヤモンド合成に及ぼす雰囲気圧力の影響 / p65 (0070.jp2)
- 4.1 はじめに / p66 (0071.jp2)
- 4.2 ダイヤモンドの合成条件 / p66 (0071.jp2)
- 4.3 ダイヤモンド合成に及ぼす雰囲気圧力の影響 / p67 (0072.jp2)
- 4.4 まとめ / p79 (0084.jp2)
- 参考文献 / p81 (0086.jp2)
- 第5章 ダイヤモンド合成に及ぼす基板回転の影響 / p82 (0087.jp2)
- 5.1 はじめに / p83 (0088.jp2)
- 5.2 基板回転機構およびダイヤモンドの合成条件 / p84 (0089.jp2)
- 5.3 回転基板上のプラズマ流れの数値解析 / p86 (0091.jp2)
- 5.4 回転基板上へのダイヤモンド合成 / p92 (0097.jp2)
- 5.5 まとめ / p99 (0104.jp2)
- 参考文献 / p103 (0108.jp2)
- 第6章 ダイヤモンド合成に及ぼす磁場の影響 / p104 (0109.jp2)
- 6.1 はじめに / p105 (0110.jp2)
- 6.2 磁場援用アーク放電プラズマジェットCVD装置の試作 / p106 (0111.jp2)
- 6.3 プラズマジェットに及ぼす磁場の影響 / p110 (0115.jp2)
- 6.4 ダイヤモンド合成に及ぼす磁場の影響 / p117 (0122.jp2)
- 6.5 まとめ / p122 (0127.jp2)
- 参考文献 / p124 (0129.jp2)
- 第7章 ダイヤモンドの強度評価 / p125 (0130.jp2)
- 7.1 はじめに / p126 (0131.jp2)
- 7.2 強度評価試験法 / p126 (0131.jp2)
- 7.3 ダイヤモンドの曲げ強さ / p133 (0138.jp2)
- 7.4 まとめ / p139 (0144.jp2)
- 参考文献 / p142 (0147.jp2)
- 第8章 高光透過性ダイヤモンドの合成 / p143 (0148.jp2)
- 8.1 はじめに / p144 (0149.jp2)
- 8.2 高光透過性ダイヤモンドの合成条件 / p144 (0149.jp2)
- 8.3 ダイヤモンドの光透過性に及ぼすメタン濃度および基板処理の影響 / p146 (0151.jp2)
- 8.4 結晶成長からみた高光透過性ダイヤモンド / p152 (0157.jp2)
- 8.5 まとめ / p160 (0165.jp2)
- 参考文献 / p163 (0168.jp2)
- 第9章 結論 / p165 (0170.jp2)
- 謝辞 / (0172.jp2)
