容量結合型RF放電プラズマの測定

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著者

    • 久保, 隆 クボ, タカシ

書誌事項

タイトル

容量結合型RF放電プラズマの測定

著者名

久保, 隆

著者別名

クボ, タカシ

学位授与大学

大阪府立大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第477号

学位授与年月日

1998-03-31

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 工業技術の中のプラズマ / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 プロセスプラズマ / p1 (0005.jp2)
  5. 1.3 プラズマ測定法 / p2 (0006.jp2)
  6. 1.4 本論文の概要 / p3 (0006.jp2)
  7. 1.5 まとめ / p4 (0007.jp2)
  8. 2章 放電プラズマの基本的性質 / p5 (0007.jp2)
  9. 2.1 はじめに / p5 (0007.jp2)
  10. 2.2 気体工学における基礎パラメータ / p7 (0008.jp2)
  11. 2.3 プラズマ関連のパラメータ / p10 (0010.jp2)
  12. 2.4 直流放電 / p12 (0011.jp2)
  13. 2.5 まとめ / p16 (0013.jp2)
  14. 3章 高周波(RF)放電 / p17 (0013.jp2)
  15. 3.1 はじめに / p17 (0013.jp2)
  16. 3.2 容量結合型RFプラズマ / p17 (0013.jp2)
  17. 3.3 電子加熱 / p19 (0014.jp2)
  18. 3.4 容量結合型RFプラズマの等価回路 / p20 (0015.jp2)
  19. 3.5 エッチング / p21 (0015.jp2)
  20. 3.6 まとめ / p23 (0016.jp2)
  21. 4章 プローブ法を用いた非対称平行平板型反応器におけるRFプラズマの測定 / p24 (0017.jp2)
  22. 4.1 はじめに / p24 (0017.jp2)
  23. 4.2 プローブの原理 / p25 (0017.jp2)
  24. 4.3 実験 / p63 (0036.jp2)
  25. 4.4 結果 / p67 (0038.jp2)
  26. 4.5 まとめ / p71 (0040.jp2)
  27. 5章 自己補償型ラングミュアプローブを用いた非対称平行平板型RFプラズマ中の電子エネルギー分布関数の測定 / p73 (0041.jp2)
  28. 5.1 はじめに / p73 (0041.jp2)
  29. 5.2 実験 / p75 (0042.jp2)
  30. 5.3 結果 / p77 (0043.jp2)
  31. 5.4 まとめ / p82 (0046.jp2)
  32. 6章 2次高調波を含む平板型RF放電の電気的特性 / p83 (0046.jp2)
  33. 6.1 はじめに / p83 (0046.jp2)
  34. 6.2 実験 / p84 (0047.jp2)
  35. 6.3 等価回路モデル / p84 (0047.jp2)
  36. 6.4 結果 / p90 (0050.jp2)
  37. 6.5 考察 / p90 (0050.jp2)
  38. 6.6 まとめ / p90 (0050.jp2)
  39. 7章 平行平板型反応器中のRF放電の電力測定 / p92 (0051.jp2)
  40. 7.1 はじめに / p92 (0051.jp2)
  41. 7.2 実験 / p93 (0051.jp2)
  42. 7.3 結果 / p96 (0053.jp2)
  43. 7.4 考察 / p101 (0055.jp2)
  44. 7.5 まとめ / p104 (0057.jp2)
  45. 8章 結論 / p106 (0058.jp2)
  46. 謝辞 / p109 (0059.jp2)
  47. 参考文献 / p110 (0060.jp2)
6アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000154324
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001093329
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000318638
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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