容量結合型RF放電プラズマの測定
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著者
書誌事項
- タイトル
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容量結合型RF放電プラズマの測定
- 著者名
-
久保, 隆
- 著者別名
-
クボ, タカシ
- 学位授与大学
-
大阪府立大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第477号
- 学位授与年月日
-
1998-03-31
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 工業技術の中のプラズマ / p1 (0005.jp2)
- 1.2 プロセスプラズマ / p1 (0005.jp2)
- 1.3 プラズマ測定法 / p2 (0006.jp2)
- 1.4 本論文の概要 / p3 (0006.jp2)
- 1.5 まとめ / p4 (0007.jp2)
- 2章 放電プラズマの基本的性質 / p5 (0007.jp2)
- 2.1 はじめに / p5 (0007.jp2)
- 2.2 気体工学における基礎パラメータ / p7 (0008.jp2)
- 2.3 プラズマ関連のパラメータ / p10 (0010.jp2)
- 2.4 直流放電 / p12 (0011.jp2)
- 2.5 まとめ / p16 (0013.jp2)
- 3章 高周波(RF)放電 / p17 (0013.jp2)
- 3.1 はじめに / p17 (0013.jp2)
- 3.2 容量結合型RFプラズマ / p17 (0013.jp2)
- 3.3 電子加熱 / p19 (0014.jp2)
- 3.4 容量結合型RFプラズマの等価回路 / p20 (0015.jp2)
- 3.5 エッチング / p21 (0015.jp2)
- 3.6 まとめ / p23 (0016.jp2)
- 4章 プローブ法を用いた非対称平行平板型反応器におけるRFプラズマの測定 / p24 (0017.jp2)
- 4.1 はじめに / p24 (0017.jp2)
- 4.2 プローブの原理 / p25 (0017.jp2)
- 4.3 実験 / p63 (0036.jp2)
- 4.4 結果 / p67 (0038.jp2)
- 4.5 まとめ / p71 (0040.jp2)
- 5章 自己補償型ラングミュアプローブを用いた非対称平行平板型RFプラズマ中の電子エネルギー分布関数の測定 / p73 (0041.jp2)
- 5.1 はじめに / p73 (0041.jp2)
- 5.2 実験 / p75 (0042.jp2)
- 5.3 結果 / p77 (0043.jp2)
- 5.4 まとめ / p82 (0046.jp2)
- 6章 2次高調波を含む平板型RF放電の電気的特性 / p83 (0046.jp2)
- 6.1 はじめに / p83 (0046.jp2)
- 6.2 実験 / p84 (0047.jp2)
- 6.3 等価回路モデル / p84 (0047.jp2)
- 6.4 結果 / p90 (0050.jp2)
- 6.5 考察 / p90 (0050.jp2)
- 6.6 まとめ / p90 (0050.jp2)
- 7章 平行平板型反応器中のRF放電の電力測定 / p92 (0051.jp2)
- 7.1 はじめに / p92 (0051.jp2)
- 7.2 実験 / p93 (0051.jp2)
- 7.3 結果 / p96 (0053.jp2)
- 7.4 考察 / p101 (0055.jp2)
- 7.5 まとめ / p104 (0057.jp2)
- 8章 結論 / p106 (0058.jp2)
- 謝辞 / p109 (0059.jp2)
- 参考文献 / p110 (0060.jp2)
