A study on prediction of solubility speed of photosensitive polymers in alkaline developer by measurement of electrical conductivity of polymer solution in organic solvent フォトレジストポリマー溶液の電気伝導度測定による現像液への溶解速度の予測に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 竹田, 敏郎 タケダ, トシロウ

書誌事項

タイトル

A study on prediction of solubility speed of photosensitive polymers in alkaline developer by measurement of electrical conductivity of polymer solution in organic solvent

タイトル別名

フォトレジストポリマー溶液の電気伝導度測定による現像液への溶解速度の予測に関する研究

著者名

竹田, 敏郎

著者別名

タケダ, トシロウ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第6855号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. Contents / (0004.jp2)
  2. Chapter1 Introduction / p1 (0006.jp2)
  3. References / p8 (0013.jp2)
  4. Chapter2 Preparation of a Photoresist Using Polybenzoxazol(PBO)as a Base Polymer / p13 (0018.jp2)
  5. 2.1 Introduction / p13 (0018.jp2)
  6. 2.2 Experimental Procedure / p14 (0019.jp2)
  7. 2.3 Results and Discussion / p17 (0022.jp2)
  8. 2.4 Conclusion / p30 (0035.jp2)
  9. References / p31 (0036.jp2)
  10. Chapter3 Relationship between the Solubility Speed of PBO in a Developer and the Electrical Conductivity of PBO Solution / p32 (0037.jp2)
  11. 3.1 Introduction / p32 (0037.jp2)
  12. 3.2 Experimental Procedure / p33 (0038.jp2)
  13. 3.3 Results and Discussion / p38 (0043.jp2)
  14. 3.4 Conclusion / p59 (0064.jp2)
  15. References / p60 (0065.jp2)
  16. Chapter4 Derivation of Calibration Equation for Quantitative Evaluation of Solubility Speed of PBO / p61 (0066.jp2)
  17. 4.1 Introduction / p61 (0066.jp2)
  18. 4.2 Derivation of Calibration Equation for the Relation between the Solubility Speed and the Electrical Conductivity of PBO Base Polymer Solution / p62 (0067.jp2)
  19. 4.3 Conclusion / p68 (0073.jp2)
  20. Reference / p69 (0074.jp2)
  21. Chapter5 Relationship between the Solubility Speed and Electrical Conductivity of Phenol Novolak Polymer Solution / p70 (0075.jp2)
  22. 5.1 Introduction / p70 (0075.jp2)
  23. 5.2 Experimental Procedure / p71 (0076.jp2)
  24. 5.3 Results and Discussion / p74 (0079.jp2)
  25. 5.4 Conclusion / p94 (0099.jp2)
  26. References / p94 (0099.jp2)
  27. Chapter6 Conclusions / p95 (0100.jp2)
  28. Acknowledgments / p98 (0103.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000170874
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000171148
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000335188
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ