知的画像処理集積回路技術の研究

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著者

    • 丸尾, 和幸 マルオ, カズユキ

書誌事項

タイトル

知的画像処理集積回路技術の研究

著者名

丸尾, 和幸

著者別名

マルオ, カズユキ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第6920号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0004.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 半導体産業の発展と,半導体産業における分析技術の必要性 / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 半導体製造工程におけるパーティクル欠陥自動分類装置 / p3 (0009.jp2)
  5. 1.3 アナログ技術による知的画像情報処理技術の集積回路化 / p4 (0010.jp2)
  6. 1.4 本論文の目的 / p6 (0012.jp2)
  7. 1.5 本論文の構成 / p6 (0012.jp2)
  8. 参考文献 / p8 (0014.jp2)
  9. 第2章 画像処理をもちいた半導体ウェハパーティクル欠陥の検出と分類 / p9 (0015.jp2)
  10. 2.1 はじめに / p9 (0015.jp2)
  11. 2.2 直線Hough変換をもちいた配線パターンの回転角検出 / p11 (0017.jp2)
  12. 2.3 Wavelet変換をもちいた配線パターンの除去 / p14 (0020.jp2)
  13. 2.4 円のHough変換によるパーティクル欠陥の位置と大きさの検出 / p16 (0022.jp2)
  14. 2.5 実験結果と欠陥形状分類 / p21 (0027.jp2)
  15. 2.6 まとめ / p30 (0036.jp2)
  16. 付録 / p30 (0036.jp2)
  17. 参考文献 / p32 (0038.jp2)
  18. 第3章 二次元Wavelet変換をもちいた半導体ウェハ回転角の高精度検出 / p33 (0039.jp2)
  19. 3.1 はじめに / p33 (0039.jp2)
  20. 3.2 Wavelet変換のエッジ検出性能 / p34 (0040.jp2)
  21. 3.3 二次元Wavelet変換のエネルギー量とエッジの角度の関係 / p38 (0044.jp2)
  22. 3.4 回転角検出アルゴリズム / p60 (0066.jp2)
  23. 3.5 実験結果 / p66 (0072.jp2)
  24. 3.6 考察 / p71 (0077.jp2)
  25. 3.7 まとめ / p73 (0079.jp2)
  26. 参考文献 / p74 (0080.jp2)
  27. 第4章 νMOSによる二次元Wavelet変換回路 / p75 (0081.jp2)
  28. 4.1 はじめに / p75 (0081.jp2)
  29. 4.2 νMOSトランジスタの基本特性と演算回路 / p75 (0081.jp2)
  30. 4.3 νMOSによる二次元Haar Wavelet変換回路 / p83 (0089.jp2)
  31. 4.4 シミュレーション結果と考察 / p89 (0095.jp2)
  32. 4.5 まとめ / p98 (0104.jp2)
  33. 参考文献 / p99 (0105.jp2)
  34. 第5章 νMOSによる直線Hough変換回路 / p100 (0106.jp2)
  35. 5.1 はじめに / p100 (0106.jp2)
  36. 5.2 直線Hough変換回路構成 / p101 (0107.jp2)
  37. 5.3 νMOSによる直線Hough変換回路 / p105 (0111.jp2)
  38. 5.4 シミュレーション結果と試作測定結果 / p111 (0117.jp2)
  39. 5.5 まとめ / p125 (0131.jp2)
  40. 参考文献 / p125 (0131.jp2)
  41. 第6章 νMOSによる正方形Hough変換回路 / p126 (0132.jp2)
  42. 6.1 はじめに / p126 (0132.jp2)
  43. 6.2 円のHough変換と正方形Hough変換 / p127 (0133.jp2)
  44. 6.3 正方形Hough変換回路 / p133 (0139.jp2)
  45. 6.4 シミュレーション結果 / p140 (0146.jp2)
  46. 6.5 まとめ / p149 (0155.jp2)
  47. 参考文献 / p149 (0155.jp2)
  48. 第7章 結論 / p150 (0156.jp2)
  49. 謝辞 / p152 (0158.jp2)
  50. 本研究に関する発表 / p153 (0159.jp2)
  51. 関連特許 / p155 (0161.jp2)
4アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000170939
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000171213
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000335253
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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