知的画像処理集積回路技術の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
知的画像処理集積回路技術の研究
- 著者名
-
丸尾, 和幸
- 著者別名
-
マルオ, カズユキ
- 学位授与大学
-
東北大学
- 取得学位
-
博士(工学)
- 学位授与番号
-
甲第6920号
- 学位授与年月日
-
1999-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p1 (0004.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
- 1.1 半導体産業の発展と,半導体産業における分析技術の必要性 / p1 (0007.jp2)
- 1.2 半導体製造工程におけるパーティクル欠陥自動分類装置 / p3 (0009.jp2)
- 1.3 アナログ技術による知的画像情報処理技術の集積回路化 / p4 (0010.jp2)
- 1.4 本論文の目的 / p6 (0012.jp2)
- 1.5 本論文の構成 / p6 (0012.jp2)
- 参考文献 / p8 (0014.jp2)
- 第2章 画像処理をもちいた半導体ウェハパーティクル欠陥の検出と分類 / p9 (0015.jp2)
- 2.1 はじめに / p9 (0015.jp2)
- 2.2 直線Hough変換をもちいた配線パターンの回転角検出 / p11 (0017.jp2)
- 2.3 Wavelet変換をもちいた配線パターンの除去 / p14 (0020.jp2)
- 2.4 円のHough変換によるパーティクル欠陥の位置と大きさの検出 / p16 (0022.jp2)
- 2.5 実験結果と欠陥形状分類 / p21 (0027.jp2)
- 2.6 まとめ / p30 (0036.jp2)
- 付録 / p30 (0036.jp2)
- 参考文献 / p32 (0038.jp2)
- 第3章 二次元Wavelet変換をもちいた半導体ウェハ回転角の高精度検出 / p33 (0039.jp2)
- 3.1 はじめに / p33 (0039.jp2)
- 3.2 Wavelet変換のエッジ検出性能 / p34 (0040.jp2)
- 3.3 二次元Wavelet変換のエネルギー量とエッジの角度の関係 / p38 (0044.jp2)
- 3.4 回転角検出アルゴリズム / p60 (0066.jp2)
- 3.5 実験結果 / p66 (0072.jp2)
- 3.6 考察 / p71 (0077.jp2)
- 3.7 まとめ / p73 (0079.jp2)
- 参考文献 / p74 (0080.jp2)
- 第4章 νMOSによる二次元Wavelet変換回路 / p75 (0081.jp2)
- 4.1 はじめに / p75 (0081.jp2)
- 4.2 νMOSトランジスタの基本特性と演算回路 / p75 (0081.jp2)
- 4.3 νMOSによる二次元Haar Wavelet変換回路 / p83 (0089.jp2)
- 4.4 シミュレーション結果と考察 / p89 (0095.jp2)
- 4.5 まとめ / p98 (0104.jp2)
- 参考文献 / p99 (0105.jp2)
- 第5章 νMOSによる直線Hough変換回路 / p100 (0106.jp2)
- 5.1 はじめに / p100 (0106.jp2)
- 5.2 直線Hough変換回路構成 / p101 (0107.jp2)
- 5.3 νMOSによる直線Hough変換回路 / p105 (0111.jp2)
- 5.4 シミュレーション結果と試作測定結果 / p111 (0117.jp2)
- 5.5 まとめ / p125 (0131.jp2)
- 参考文献 / p125 (0131.jp2)
- 第6章 νMOSによる正方形Hough変換回路 / p126 (0132.jp2)
- 6.1 はじめに / p126 (0132.jp2)
- 6.2 円のHough変換と正方形Hough変換 / p127 (0133.jp2)
- 6.3 正方形Hough変換回路 / p133 (0139.jp2)
- 6.4 シミュレーション結果 / p140 (0146.jp2)
- 6.5 まとめ / p149 (0155.jp2)
- 参考文献 / p149 (0155.jp2)
- 第7章 結論 / p150 (0156.jp2)
- 謝辞 / p152 (0158.jp2)
- 本研究に関する発表 / p153 (0159.jp2)
- 関連特許 / p155 (0161.jp2)