Ni-Fe/25at%Ni-Mn交換結合膜の構造と磁気特性に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
Ni-Fe/25at%Ni-Mn交換結合膜の構造と磁気特性に関する研究
- Author
-
角田, 匡清
- Author(Another name)
-
ツノダ, マサキヨ
- University
-
東北大学
- Types of degree
-
博士(工学)
- Grant ID
-
乙第7480号
- Degree year
-
1998-04-08
Note and Description
博士論文
博士学位論文 (Thesis(doctor))
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 第1節 本研究の背景 / p1 (0005.jp2)
- 1-1 スピンバルブGMRヘッド / p1 (0005.jp2)
- 1-2 交換磁気異方性と強磁性/反強磁性積層膜 / p2 (0006.jp2)
- 1-3 スピンバルブGMR膜用反強磁性材料の探索 / p3 (0006.jp2)
- 1-4 膜構成、成膜条件が交換磁気異方性に及ぼす影響 / p5 (0007.jp2)
- 1-5 磁界中冷却による交換磁気異方性の誘導と局所交換結合 / p6 (0008.jp2)
- 第2節 本研究の目的 / p12 (0011.jp2)
- 第3節 反強磁性材料の選定 / p14 (0012.jp2)
- 参考文献 / p18 (0014.jp2)
- 第2章 実験方法 / p23 (0016.jp2)
- 第1節 試料の作製方法 / p23 (0016.jp2)
- 1-1 成膜装置 / p23 (0016.jp2)
- 1-2 プロセスガス / p24 (0017.jp2)
- 1-3 スパッタリングターゲット / p25 (0017.jp2)
- 1-4 基板とその洗浄方法 / p25 (0017.jp2)
- 1-5 基板表面のドライエッチング / p26 (0018.jp2)
- 1-6 成膜条件 / p27 (0018.jp2)
- 第2節 構造解析 / p31 (0020.jp2)
- 2-1 膜厚の測定 / p31 (0020.jp2)
- 2-2 X線回折(XRD) / p31 (0020.jp2)
- 2-3 透過電子顕微鏡(TEM) / p31 (0020.jp2)
- 2-4 原子間力顕微鏡(AFM) / p31 (0020.jp2)
- 第3節 磁気測定 / p32 (0021.jp2)
- 3-1 磁化曲線 / p32 (0021.jp2)
- 3-2 交換結合磁界と保磁力 / p32 (0021.jp2)
- 3-3 飽和磁化 / p33 (0021.jp2)
- 参考文献 / p36 (0023.jp2)
- 第3章 交換磁気異方性のモデルと交換結合膜の磁化曲線 / p37 (0023.jp2)
- 第1節 緒言 / p37 (0023.jp2)
- 第2節 交換磁気異方性のモデル / p39 (0024.jp2)
- 2-1 Single spin mode1 / p39 (0024.jp2)
- 2-2 One dimensional chain mode1 / p41 (0025.jp2)
- 2-3 Random field mode1 / p43 (0026.jp2)
- 第3節 磁化曲線の計算 / p54 (0032.jp2)
- 3-1 計算方法 / p54 (0032.jp2)
- 3-2 計算結果(Ku=Oの場合) / p56 (0033.jp2)
- 3-3 計算結果(Ku≠0の場合) / p58 (0034.jp2)
- 第4節 Ni-Fe/Ni-Mn/Ni-Fe三層膜の磁化曲線 / p66 (0038.jp2)
- 第5節 結言 / p72 (0041.jp2)
- 参考文献 / p74 (0042.jp2)
- 第4章 種々の膜厚構成で作製したNi-Fe/Ni-Mn/Ni-Fe三層膜の構造と交換磁気異方性ならびに保磁力 / p75 (0043.jp2)
- 第1節 緒言 / p75 (0043.jp2)
- 第2節 結晶構造 / p77 (0044.jp2)
- 第3節 交換磁気異方性および保磁力の構成膜厚依存性 / p82 (0046.jp2)
- 3-1 強磁性層厚依存性 / p82 (0046.jp2)
- 3-2 反強磁性層厚依存性 / p86 (0048.jp2)
- 第4節 交換磁気異方性ならびに保磁力の温度依存性 / p98 (0054.jp2)
- 4-1 ブロッキング温度 / p98 (0054.jp2)
- 4-2 強磁性層と反強磁性層の積層順序の影響 / p101 (0056.jp2)
- 4-3 反強磁性相の同定 / p103 (0057.jp2)
- 第5節 三層膜の成長過程と微細構造 / p115 (0063.jp2)
- 5-1 反強磁性層の成長過程 / p116 (0063.jp2)
- 5-2 局所交換結合と反強磁性結晶粒子 / p117 (0064.jp2)
- 5-3 反強磁性結晶粒子の体積 / p119 (0065.jp2)
- 5-4 反強磁性結晶粒子の体積と交換磁気異方性および保磁力との相関 / p121 (0066.jp2)
- 5-5 三層膜の成長過程と交換磁気異方性 / p122 (0066.jp2)
- 第6節 結言 / p141 (0079.jp2)
- 参考文献 / p144 (0080.jp2)
- 第5章 Ni-Fe/Ni-Mn/Ni-Fe三層膜の交換磁気異方性ならびに保磁力の磁界中冷却による変化 / p145 (0081.jp2)
- 第1節 緒言 / p145 (0081.jp2)
- 第2節 室温からの磁界中冷却による交換磁気異方性および保磁力の変化 / p149 (0083.jp2)
- 第3節 三層膜の微細構造とブロッキング温度の分布 / p163 (0090.jp2)
- 第4節 結言 / p173 (0095.jp2)
- 参考文献 / p175 (0096.jp2)
- 第6章 Ni-Fe/Ni-Mn/Ni-Fe三層膜の構造および磁気特性に及ぼす基板表面の清浄化の効果 / p176 (0096.jp2)
- 第1節 緒言 / p176 (0096.jp2)
- 第2節 結晶構造 / p181 (0099.jp2)
- 第3節 ドライエッチングによる交換磁気異方性および保磁力の変化 / p187 (0102.jp2)
- 第4節 清浄化された基板表面上に作製された三層膜の交換磁気異方性の温度依存性 / p195 (0106.jp2)
- 第5節 三層膜の成長過程と微細構造 / p199 (0108.jp2)
- 第6節 結言 / p204 (0111.jp2)
- 参考文献 / p206 (0112.jp2)
- 第7章 結論 / p207 (0113.jp2)
- 本論文に関する研究発表 / p215 (0117.jp2)
- 謝辞 / p217 (0118.jp2)