有機金属気相成長法による埋込み構造半導体レーザに関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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有機金属気相成長法による埋込み構造半導体レーザに関する研究
- 著者名
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近藤, 康洋
- 著者別名
-
コンドウ, ヤスヒロ
- 学位授与大学
-
九州大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第4809号
- 学位授与年月日
-
1999-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次/p1 (3コマ目)
- 第1章 序論/p1 (6コマ目)
- 1-1 光ファイバ通信と半導体レーザ/p1 (6コマ目)
- 1-2 本研究の目的と論文の構成/p3 (8コマ目)
- 参考文献/p6 (11コマ目)
- 第2章 埋込み構造レーザヘの有機金属気相成長法の適応/p9 (14コマ目)
- 2-1 まえがき/p9 (14コマ目)
- 2-2 光ファイバ通信用半導体レーザ/p10 (15コマ目)
- 2-3 埋込み構造半導体レーザ/p15 (20コマ目)
- 2-4 有機金属気相成長法/p19 (24コマ目)
- 2-5 MOVPE法による埋込み成長/p24 (29コマ目)
- 2-6 MOVPE法を用いた埋込み構造レーザ/p38 (43コマ目)
- 2-7 まとめ/p45 (50コマ目)
- 参考文献/p47 (52コマ目)
- 第3章 自己整合埋込み構造レーザ/p50 (55コマ目)
- 3-1 まえがき/p50 (55コマ目)
- 3-2 InP成長のn型ドーパント依存性/p50 (55コマ目)
- 3-3 自己整合埋込み成長/p57 (62コマ目)
- 3-4 自己整合埋込み構造レーザ/p62 (67コマ目)
- 3-5 選択成長メサを用いた自己整合埋込み構造レーザ/p65 (70コマ目)
- 3-6 Seドープ成長抑制機構の解析/p72 (77コマ目)
- 3-7 まとめ/p82 (87コマ目)
- 参考文献/p84 (89コマ目)
- 第4章 CH₄系RIEとMOVPE法を用いた埋込み構造レーザ/p86 (91コマ目)
- 4-1 まえがき/p86 (91コマ目)
- 4-2 CH₄系RIEを用いて形成したメサ/p87 (92コマ目)
- 4-3 ウェットエッチング処理による発振特性の改善/p90 (95コマ目)
- 4-4 CH₄系RIEメサを用いた埋込み構造レーザ/p93 (98コマ目)
- 4-5 まとめ/p98 (103コマ目)
- 参考文献/p100 (105コマ目)
- 第5章 結言/p102 (107コマ目)
- 5-1 結論/p102 (107コマ目)
- 5-2 将来展望/p104 (109コマ目)
- 謝辞/p107 (112コマ目)
- 本研究に関する業績/p109 (114コマ目)