小型放射光源を用いた放射光誘起反応に関する研究

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著者

    • 加藤, 隆典 カトウ, タカノリ

書誌事項

タイトル

小型放射光源を用いた放射光誘起反応に関する研究

著者名

加藤, 隆典

著者別名

カトウ, タカノリ

学位授与大学

立命館大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

乙第241号

学位授与年月日

1999-03-26

注記・抄録

博士論文

博士(工学)

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 研究の背景 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 研究の目的及び論文の構成 / p5 (0007.jp2)
  5. 第2章 小型放射光源用実験装置の開発研究 / p8 (0009.jp2)
  6. 2.1 緒言 / p8 (0009.jp2)
  7. 2.2 高強度放射光照射装置 / p8 (0009.jp2)
  8. 2.3 X線励起固相成長装置 / p15 (0012.jp2)
  9. 2.4 薄膜作製及び微細加工装置 / p25 (0017.jp2)
  10. 2.5 結言 / p29 (0019.jp2)
  11. 第3章 非晶質半導体のX線励起固相成長の研究 / p31 (0020.jp2)
  12. 3.1 緒言 / p31 (0020.jp2)
  13. 3.2 実験方法 / p34 (0022.jp2)
  14. 3.3 実験結果 / p35 (0022.jp2)
  15. 3.4 検討 / p42 (0026.jp2)
  16. 3.5 固相成長装置を刑いた多結晶化 / p47 (0028.jp2)
  17. 3.6 結言 / p51 (0030.jp2)
  18. 第4章 放射光化学反応を用いた高分子薄膜作製の研究 / p53 (0031.jp2)
  19. 4.1 緒言 / p53 (0031.jp2)
  20. 4.2 実験方法 / p54 (0032.jp2)
  21. 4.3 実験結果 / p56 (0033.jp2)
  22. 4.4 検討 / p63 (0036.jp2)
  23. 4.5 結言 / p68 (0039.jp2)
  24. 第5章 放射光直接エッチングによる高アスペクト比微細加工の研究 / p69 (0039.jp2)
  25. 5.1 緒言 / p69 (0039.jp2)
  26. 5.2 実験方法 / p70 (0040.jp2)
  27. 5.3 微細加工結果 / p72 (0041.jp2)
  28. 5.4 電鋳との組合せ(TIEGA) / p80 (0045.jp2)
  29. 5.5 検討 / p83 (0046.jp2)
  30. 5.6 結言 / p88 (0049.jp2)
  31. 第6章 結論 / p89 (0049.jp2)
  32. 謝辞 / p92 (0051.jp2)
  33. 参考文献 / p93 (0051.jp2)
  34. 研究業績 / p98 (0054.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000172866
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000173142
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000337180
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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