LCD用AI配線におけるウィスカーに関する透過電子顕微鏡的研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
LCD用AI配線におけるウィスカーに関する透過電子顕微鏡的研究
- 著者名
-
辻本, 勝浩
- 著者別名
-
ツジモト, カツヒロ
- 学位授与大学
-
名古屋大学
- 取得学位
-
博士(工学)
- 学位授与番号
-
甲第4310号
- 学位授与年月日
-
1999-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 緒言 / p1 (0006.jp2)
- 1.1 薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ / p1 (0006.jp2)
- 1.2 薄膜トランジスタの断面構造 / p1 (0006.jp2)
- 1.3 Al配線材料の課題 / p4 (0009.jp2)
- 1.4 Al配線材料の課題解決のための研究開発 / p8 (0013.jp2)
- 1.5 本研究の目的と課題 / p12 (0017.jp2)
- 1.6 本論文の構成 / p12 (0017.jp2)
- 参考文献 / p15 (0020.jp2)
- 第2章 超高圧電子顕微鏡を用いたAlウィスカーのin-situ加熱観察 / p17 (0022.jp2)
- 2.1序論 / p17 (0022.jp2)
- 2.2 実験方法 / p19 (0024.jp2)
- 2.3 結果 / p26 (0031.jp2)
- 2.4 結 論 / p33 (0038.jp2)
- 参考文献 / p40 (0045.jp2)
- 第3章 Alウィスカーの断面TEM観察 / p41 (0046.jp2)
- 3.1 序論 / p41 (0046.jp2)
- 3.2 実験方法 / p42 (0047.jp2)
- 3.3 結果 / p49 (0054.jp2)
- 3.4 結論 / p55 (0060.jp2)
- 参考文献 / p59 (0064.jp2)
- 第4章 Alウィスカーの平面TEM観察 / p60 (0065.jp2)
- 4.1 序論 / p60 (0065.jp2)
- 4.2 実験方法 / p60 (0065.jp2)
- 4.3 結果 / p61 (0066.jp2)
- 4.4 結論 / p79 (0084.jp2)
- 参考文献 / p81 (0086.jp2)
- 第5章 圧痕印可法によるAl膜のストレスマイグレーション評価 / p82 (0087.jp2)
- 5.1 序論 / p82 (0087.jp2)
- 5.2 実験方法 / p82 (0087.jp2)
- 5.3 結果 / p83 (0088.jp2)
- 5.4 有限要素法による解析 / p89 (0094.jp2)
- 5.5 結論 / p96 (0101.jp2)
- 参考文献 / p103 (0108.jp2)
- 第6章 AIウィスカーの抑制 / p104 (0109.jp2)
- 6.1 序論 / p104 (0109.jp2)
- 6.2 実験方法 / p104 (0109.jp2)
- 6.3 結果 / p106 (0111.jp2)
- 6.4 考察 / p112 (0117.jp2)
- 参考文献 / p121 (0126.jp2)
- 第7章 ウィスカーの発生･成長機構の考察 / p122 (0127.jp2)
- 7.1 ウィスカーの分類 / p122 (0127.jp2)
- 7.2 これまでに提唱されているウィスカーの成長機構 / p122 (0127.jp2)
- 7.3 ウィスカーの発生･成長の機構 / p123 (0128.jp2)
- 参考文献 / p129 (0134.jp2)
- 第8章 総括 / p130 (0135.jp2)
- 謝辞 / p135 (0140.jp2)